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龙图腾网获悉苏州富强科技有限公司申请的专利晶圆校准机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115188700B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210698725.7，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权晶圆校准机构是由吴华;袁保存;徐振光设计研发完成，并于2022-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆校准机构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆校准机构，包括：校准台，其顶部设置有承托板；定位校准组件，其可转动的安装于所述校准台的中心区域；以及夹持组件，其可活动的安装于所述校准台上；其中，所述承托板的上方承托有待校准的晶圆，所述晶圆的外周设置有校准口，所述承托板上设置有光电传感器，所述光电传感器用于对晶圆进行校准；所述定位校准组件对位于所述承托板的待校准的晶圆进行限位，同时，在一驱动力的作用下，所述定位校准组件驱动待校准的晶圆沿一旋转方向，以使得所述校准口与所述光电传感器相配合对所述晶圆进行校准。根据本发明，其实现对晶圆的定位‑校准一体化操作，提高了晶圆的校准效率，最终提高了工作效率。

本发明授权晶圆校准机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆校准机构，其特征在于，包括： 校准台（121），其顶部设置有承托板（1211）； 定位校准组件（122），其可转动的安装于所述校准台（121）的中心区域；以及 夹持组件（123），其可活动的安装于所述校准台（121）上； 其中，所述承托板（1211）的上方承托有待校准的晶圆（125），所述晶圆（125）的外周设置有校准口（1251），所述承托板（1211）上设置有光电传感器（1212），所述光电传感器（1212）用于对晶圆（125）进行校准； 所述定位校准组件（122）对位于所述承托板（1211）的待校准的晶圆（125）进行限位，同时，在一驱动力的作用下，所述定位校准组件（122）驱动待校准的晶圆（125）沿一旋转方向，以使得所述校准口（1251）与所述光电传感器（1212）相配合对所述晶圆（125）进行校准； 所述夹持组件（123）包括：夹持驱动器（1231），其通过固定架（1213）布置于所述校准台（121）的下方； 传动件（1232），其与所述夹持驱动器（1231）的动力输出端传动连接；以及 夹持件（1233），其设置有不少于3个，每个所述夹持件（1233）均与所述传动件（1232）传动连接； 所述夹持驱动器（1231）利用所述传动件（1232）同步驱动所述夹持件（1233）对位于所述承托板（1211）上的晶圆（125）进行夹持； 所述传动件（1232）的表面开设有传动槽（12321），所述传动槽（12321）设置有不少于3个，每个所述传动槽（12321）沿一阵列方向同层阵列式布置，所述传动槽（12321）的横截面呈渐开线形， 每个所述夹持件（1233）的底部位于相应一个所述传动槽（12321）内。

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