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龙图腾网获悉大连耐视科技有限公司申请的专利一种用于硅片加工设备的晶棒视觉辅助定位方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115036241B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210678197.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于硅片加工设备的晶棒视觉辅助定位方法是由俞正学;黄文韬;朱明设计研发完成，并于2022-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于硅片加工设备的晶棒视觉辅助定位方法在说明书摘要公布了：本发明涉及硅片加工技术领域，提供一种用于硅片加工设备的晶棒视觉辅助定位方法，包括：步骤100，布置晶棒视觉采集系统；步骤200，对晶棒视觉采集系统进行误差标定；步骤300，利用晶棒视觉系统采集晶棒底部的图像和晶棒顶部的图像，并根据晶棒底部的图像和晶棒顶部的图像，计算晶棒的偏角和位置，得到晶棒的实际姿态。本发明能够进行硅料的快速定位，精准完成上料。

本发明授权一种用于硅片加工设备的晶棒视觉辅助定位方法在权利要求书中公布了：1.一种用于硅片加工设备的晶棒视觉辅助定位方法，其特征在于，包括以下过程： 步骤100，布置晶棒视觉采集系统；所述晶棒视觉采集系统，包括：上部相机（1）和下部相机（9）；所述上部相机（1）可上下移动；被测的晶棒（7）放置在上部相机（1）和下部相机（9）之间的位置； 步骤200，对晶棒视觉采集系统进行误差标定，包括步骤201至步骤206： 步骤201，选取长短不同的两个标准检棒，分别为标准长检棒、长度为d，标准短检棒、长度为e； 步骤202，根据标准长检棒和标准短检棒的长度，获得标准长检棒顶部与上部相机（1）的高度b以及标准短检棒顶部与上部相机（1）的高度c，其中： c-b=d–e； 步骤203，将标准长检棒调整到目标位置，上部相机（1）记录标准长检棒的上方圆位置； 步骤204，将标准短检棒调整到目标位置，上部相机（1）记录标准短检棒的上方圆位置； 步骤205，根据标准长检棒的上方圆位置和标准短检棒的上方圆位置，计算晶棒视觉采集系统的位置误差和倾斜误差，包括以下步骤： 位置误差f计算方法： 通过图像处理得到两个的圆心像素坐标差f_pixels，同时根据实际拍照距离c、相机焦距focus以及像元尺寸p，可通过公式计算得到相机轴线在标准短检棒顶部平面点与系统中轴线的距离f： f=p*f_pixelsfocus*c; 倾斜误差角度a1及相机1的偏离距离a的计算方法： 根据得到的相机轴线在标准短检棒顶部平面点与系统中轴线的距离f，计算出相机轴线与系统中轴线的偏角以及上部相机（1）偏离的距离： a1=a2=atanfd-e; a=fd-e*b; 其中，a1表示相机轴线与系统中轴线的偏角，角度a2为a1的顶角，a1=a2；a表示上部相机（1）偏离系统中轴线的距离； 步骤206，通过标定系统参数，计算得到对应长度的标准像素位置； 步骤300，利用晶棒视觉系统采集晶棒（7）底部的图像和晶棒（7）顶部的图像，并根据晶棒（7）底部的图像和晶棒（7）顶部的图像，计算晶棒（7）的偏角和位置，得到晶棒（7）的实际姿态，包括：步骤301至步骤304： 步骤301，在晶棒抓取机器人将晶棒放置在晶棒视觉采集系统之后，下部相机（9）采集晶棒（7）底部的图像，并根据晶棒（7）底部的图像，确定晶棒底部的中心位置； 步骤302，上部相机（1）采集晶棒（7）顶部的图像，并根据晶棒（7）顶部的图像，确定上部相机（1）中的晶棒边缘图像拟合的中心位置； 步骤303，根据晶棒（7）上端面到相机距离，当晶棒（7）的长度为标准长检棒长度一致时，晶棒（7）的长度为d，晶棒（7）的上端面与上部相机（1）的距离为b，当晶棒长度为任意长度x0时，计算上部的实际空间位置为b+d-x0； 步骤304，根据晶棒（7）上部的实际空间位置，计算晶棒（7）的偏角和位置，得到晶棒（7）的实际姿态，包括以下步骤： 当系统不存在误差时，上部相机（1）和下部相机（9）检测晶棒的端面位置都在中心时，表明该晶棒竖直向上，不存在偏差角度； 当系统存在误差时，下部相机（9）检测晶棒（7）端面位置正常，上部相机1检测端面位置不在中心，向右偏差x时，晶棒（7）出现倾斜，此时晶棒（7）的倾斜角度为： Angle=atanxd； 根据晶棒（7）的倾斜角度，得到晶棒（7）的实际姿态。

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