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北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)武震获国家专利权

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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利光学组件的测试装置及方法、光路系统的调试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115014720B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210623878.5,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权光学组件的测试装置及方法、光路系统的调试方法是由武震;李星辰;王东海;高爱梅设计研发完成,并于2022-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。

光学组件的测试装置及方法、光路系统的调试方法在说明书摘要公布了:本申请涉及光学组件组装设备技术领域,尤其是涉及一种光学组件的测试装置及方法、光路系统的调试方法。基准机构包括基准支撑平台及基准光学组件,基准光学组件设置于基准支撑平台的基准平面,基准光学组件有交于基准点的y向基准和x向基准;可调支撑机构使测量机构移动至使测量机构的预定光轴与y向基准和x向基准均垂直且经过基准点的位置;基准平面的测试工位位于基准光学组件与测量机构之间,通过测量机构测量待测光学组件的沿y向基准的偏心误差及绕x向基准的倾角误差。该光学组件的测试方法采用该装置实施。该光路系统的调试方法采用该测试方法实施。光学组件的测试装置及方法、光路系统的调试方法,实现了光学组件与光路系统的误差解耦。

本发明授权光学组件的测试装置及方法、光路系统的调试方法在权利要求书中公布了:1.一种光学组件的测试装置,其特征在于,所述光学组件的测试装置包括测量机构、可调支撑机构以及基准机构; 所述基准机构包括基准支撑平台及基准光学组件,所述基准支撑平台的顶部形成基准平面,所述基准光学组件可拆卸地设置于所述基准平面,所述基准光学组件具有与所述基准平面垂直的y向基准以及与所述基准平面平行的x向基准,所述y向基准与所述x向基准相交于基准点; 所述测量机构能够沿预定光轴出射测量光束,所述测量机构设置于所述可调支撑机构的顶部,所述可调支撑机构能够对所述测量机构的位置进行调节,以使所述测量机构移动至调定位置,在所述调定位置下,所述预定光轴与所述y向基准和所述x向基准均垂直,且所述预定光轴经过所述基准点; 所述基准平面具有用于安装待测光学组件的测试工位,所述测试工位沿所述预定光轴的延伸方向位于所述基准光学组件与所述测量机构之间,以通过所述测量机构对所述待测光学组件的沿y向基准的偏心误差及绕x向基准的倾角误差进行测量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所),其通讯地址为:100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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