广东省科学院半导体研究所郭婵获国家专利权
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龙图腾网获悉广东省科学院半导体研究所申请的专利芯片转移方法、Micro-LED显示器件及制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114927458B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210588481.7,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权芯片转移方法、Micro-LED显示器件及制作方法是由郭婵;龚政;潘章旭;李育智;邹胜晗;王建太;陈志涛设计研发完成,并于2022-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片转移方法、Micro-LED显示器件及制作方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种芯片转移方法、Micro‑LED显示器件及制作方法,通过在压力作用下将胶带贴合至具有芯片的原始衬底上,将胶带和芯片一同从原始衬底上剥离,并在压力作用下,将带有芯片的胶带贴合至提供的玻璃基板上以排除掉空气,采用紫外光照射使胶带的粘性减弱,最后将带有芯片的粘性减弱后的胶带贴合至目标衬底,以将芯片转移至目标衬底上。本方案,采用基于紫外光照射方式减弱胶带的粘性,并且减粘同时引入临时的玻璃基板,使得胶带在排氧环境下快速减粘,缩短了工艺时间、降低工艺成本,且提高了转移良品率和精确度。
本发明授权芯片转移方法、Micro-LED显示器件及制作方法在权利要求书中公布了:1.一种芯片转移方法,其特征在于,所述方法包括: 提供一原始衬底,所述原始衬底上具有多个呈阵列排布的待转移的芯片; 在压力作用下将胶带贴合至所述原始衬底及芯片; 将所述胶带和芯片从所述原始衬底上剥离; 在压力作用下,将带有芯片的胶带贴合至提供的玻璃基板上以排除掉空气,采用紫外光照射使所述胶带的粘性减弱,将带有芯片的粘性减弱后的胶带贴合至目标衬底,以将芯片转移至所述目标衬底上; 所述将带有芯片的胶带贴合至提供的玻璃基板上以排除掉空气,采用紫外光照射使所述胶带的粘性减弱,将带有芯片的粘性减弱后的胶带贴合至目标衬底,以将芯片转移至所述目标衬底上的步骤,包括: 将带有芯片的胶带贴合至提供的玻璃基板上以排除掉空气,利用光学光罩并采用紫外光对芯片进行照射,得到曝光区域的芯片以及非曝光区域的芯片,其中,曝光区域的芯片的高度相较非曝光区域的芯片的高度更低; 利用胶带依次将非曝光区域的芯片转移至第一目标衬底上、将曝光区域的芯片转换至第二目标衬底上; 所述利用胶带依次将非曝光区域的芯片转移至第一目标衬底上、将曝光区域的芯片转换至第二目标衬底上的步骤,包括: 在压力作用下将带有所有芯片的胶带与第一目标衬底贴合,以使非曝光区域的芯片转移至所述第一目标衬底上; 将带有曝光区域的芯片的胶带从所述第一目标衬底上剥离,并贴合至玻璃基板上,采用紫外光进行照射以至所述胶带完全减粘; 将完全减粘后的带有曝光区域的芯片的胶带贴合至第二目标衬底,以将曝光区域的芯片转移至所述第二目标衬底。
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