理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司马哲国获国家专利权
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龙图腾网获悉理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司申请的专利点燃系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313716B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111568472.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权点燃系统是由马哲国;欧阳亮;朱帆;董家伟;陈金元设计研发完成，并于2021-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本点燃系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种点燃系统。所述点燃系统用于点燃等离子体处理设备反应腔中的反应气体，包括：串联连接的第一电阻及第二电阻，其与设置在反应腔中的上极板、下极板并联连接，并与匹配器串联连接；电压测量模块，其用于检测与地电性连接的第一电阻上的电压，在测量到为零时发送第一触发信号，在测量到为预设负偏压时发送第二触发信号；以及控制模块，其用于控制射频电源输出点燃电能以对反应气体进行点燃，其在接收到第二触发信号时判定点燃成功，其在接收到第一触发信号时控制射频电源进行重新点燃，累计点燃次数并判断点燃次数是否达到预设次数，若达到则判定点燃失败，否则继续进行点燃且累计点燃次数。本发明能提高点燃成功率。
本发明授权点燃系统在权利要求书中公布了：1.一种点燃系统，其用于点燃等离子体处理设备的反应腔中的反应气体，所述等离子体处理设备包括射频电源以及匹配器，其特征在于，所述点燃系统包括： 串联连接的第一电阻及第二电阻，其与设置在所述反应腔中的上极板、下极板并联连接，并与所述匹配器串联连接； 电压测量模块，其用于检测与地电性连接的所述第一电阻上的电压，在测量到所述电压为零时发送第一触发信号，在测量到所述电压为预设负偏压时发送第二触发信号；以及 控制模块，其用于控制所述射频电源输出点燃电能以对所述反应气体进行点燃，其在接收到所述第二触发信号时判定点燃成功，其在接收到所述第一触发信号时控制所述射频电源进行重新点燃，累计点燃次数并判断点燃次数是否达到预设次数，若达到则判定点燃失败，否则继续进行点燃且累计点燃次数。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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