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龙图腾网获悉沈阳芯达科技有限公司申请的专利一种集成式进气排气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109509718B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811598550.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种集成式进气排气装置是由魏猛设计研发完成，并于2018-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种集成式进气排气装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种集成式进气排气装置，隔板安装于托板的阶梯面上，压板放置于托板的上表面，通过压环将压板压紧，并与托板固定；集成块固定于压板中心表面相对位置，隔板与压板间形成气体流动空间，为排气腔；隔板与托板间形成气体流动空间，为进气腔；集成块具有进气通道和排气通道，并且集成块的进气通道与进气腔相通，集成块的排气通道与排气腔相通；进气通道与排气通道互不相通；托板上设有排气槽，隔板上设有排气孔；集成块与压板接触的表面开有凹槽，用于安装上密封圈，保证集成块与压板间的紧密配合，无气体泄漏；托板与压板的接触面开有凹型槽，用于安装下密封圈，保证托板与压板间紧密配合，无气体泄漏；压环与托板通过手动旋钮固定。

本发明授权一种集成式进气排气装置在权利要求书中公布了：1.一种集成式进气排气装置，其特征在于：包括集成块、上密封圈、压板、压环、下密封圈，托板、隔板； 所述隔板安装于托板的阶梯面上，压板放置于托板的上表面，通过压环将压板压紧，并与托板固定； 所述集成块固定于压板中心表面相对位置，其中隔板与压板间形成气体流动空间，称之为排气腔；隔板与托板间形成气体流动空间，称之为进气腔； 所述集成块具有进气通道和排气通道，并且集成块的进气通道与进气腔相通，集成块的排气通道与排气腔相通； 所述进气通道与排气通道互不相通； 所述托板上设有排气槽，隔板上设有排气孔； 所述集成块与压板接触的表面开有凹槽，用于安装上密封圈，保证集成块与压板间的紧密配合，无气体泄漏； 所述托板与压板的接触面开有凹型槽，用于安装下密封圈，保证托板与压板间紧密配合，无气体泄漏； 所述压环与托板通过手动旋钮固定； 装置下方与配合部件配合使用，托板与隔板间形成的进气腔与配合部件形成一封闭区域； 气体从集成块的进气通道口进入，经过进气通道，进入进气腔，在进气腔中形成均匀的气流，之后气流通过托板的排气槽和隔板的排气孔，进入到排气腔，再经过集成块的排气通道，排出装置外部，以此循环工作，保证该装置在工作中有持续的气流流动。

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