苏州盛拓半导体科技有限公司陈庆生获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州盛拓半导体科技有限公司申请的专利一种掩膜传输机械手的安装与控制方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120228731B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510705460.2,技术领域涉及:B25J9/16;该发明授权一种掩膜传输机械手的安装与控制方法和装置是由陈庆生;赵相宰;陈龙;张克;朱星池设计研发完成,并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜传输机械手的安装与控制方法和装置在说明书摘要公布了:本发明涉及搬运机械技术领域,具体涉及一种掩膜传输机械手的安装与控制方法,包括以下步骤:S1:确定升降模组的安装位置:将升降模组采用吊装的方式安装,保障机械手在垂直方向上的运动范围,以适应产品的高度;S2:直线模组的重心平衡:在直线模组伸缩至最远端时,其重心位于升降模组在直线模组上的正投影的范围内,并且直线模组的沿运动方向的轴线与升降模组的竖直方向的轴线相交;S3:确定无尘等级:在直线模组内设置真空管路,通过抽真空的方式满足机械手的无尘要求;S4:通过夹取机构对不同产品进行夹取;S5:平衡运动过程中的振动:通过振动传感器检测旋转模组和直线模组的振动频率,使两者的相位差处于180°。
本发明授权一种掩膜传输机械手的安装与控制方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种掩膜传输机械手的安装与控制方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:确定升降模组(1)的安装位置:将升降模组(1)采用吊装的方式安装,保障机械手在垂直方向上的运动范围,以适应产品的高度; S2:直线模组(3)的重心平衡:确定直线模组(3)的重心位置,在直线模组(3)伸至最远端时,其重心位于所述升降模组(1)在直线模组(3)上的正投影的范围内,并且所述直线模组(3)沿运动方向的轴线与所述升降模组(1)的竖直方向的轴线相交; S3:确定无尘等级:在直线模组(3)内设置真空管路,并经过旋转模组(2)和升降模组(1),与外部连通,通过抽真空的方式满足机械手的无尘要求; S4:通过夹取机构(5)对不同产品进行夹取; S5:平衡运动过程中的振动:通过振动传感器检测旋转模组(2)和直线模组(3)的振动频率,使两者的相位差处于180度。
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