成都纤声科技有限公司王韬获国家专利权
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龙图腾网获悉成都纤声科技有限公司申请的专利一种压电器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120051192B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510512114.2,技术领域涉及:H10N30/20;该发明授权一种压电器件是由王韬;牛浩博设计研发完成,并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压电器件在说明书摘要公布了:本发明提供一种压电器件,涉及半导体技术领域,包括:衬底以及层叠于所述衬底上的悬臂梁,所述衬底形成有空腔,所述悬臂梁划分为位于所述衬底上的固定端和位于所述空腔上的自由端;所述悬臂梁包括层叠在所述衬底上的压电层和至少一层第一金属层,所述压电层延伸至所述衬底和所述空腔上,所述第一金属层至少悬置在所述空腔上方的自由端、且远离所述固定端,在由所述自由端向所述固定端的延伸方向上,所述固定端朝向所述空腔的第一端面到所述第一金属层朝向所述固定端的第二端面之间形成预设距离。通过调整悬臂梁上第一金属层与固定端的相对位置,将应力转移部分至第一金属层上,以此减小压电层的应力,从而提高悬臂梁的抗脆裂能力。
本发明授权一种压电器件在权利要求书中公布了:1.一种压电器件,其特征在于,包括:衬底以及层叠于所述衬底上的悬臂梁,所述衬底形成有空腔,所述悬臂梁划分为位于所述衬底上的固定端和位于所述空腔上的自由端; 所述悬臂梁包括层叠在所述衬底上的压电层和至少一层第一金属层,所述压电层延伸至所述衬底和所述空腔上,所述第一金属层至少悬置在所述空腔上方的自由端、且远离所述固定端,在由所述自由端向所述固定端的延伸方向上,所述固定端朝向所述空腔的第一端面到所述第一金属层朝向所述固定端的第二端面之间形成预设距离; 至少一层所述第一金属层设置在所述压电层下方,且所述第一金属层沿所述延伸方向由所述自由端远离所述第一端面的端部向所述固定端延伸,所述第一金属层始于所述自由端远离所述第一端面的端部、终于所述第二端面; 所述第一金属层的第二端面未延伸至所述固定端的第一端面时,所述第一端面到所述第二端面的预设距离小于零;所述预设距离≥-25um,定义所述第一端面向所述第二端面的方向与所述延伸方向相反时,所述预设距离小于零。
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