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龙图腾网获悉广州三义激光科技有限公司申请的专利基于动态线光束的大尺寸晶圆减薄抛光装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119973347B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510463861.1，技术领域涉及：B23K26/073；该发明授权基于动态线光束的大尺寸晶圆减薄抛光装置及方法是由欧阳紫晴;陈聪;李贵林设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于动态线光束的大尺寸晶圆减薄抛光装置及方法在说明书摘要公布了：基于动态线光束的大尺寸晶圆减薄抛光装置及方法，包括动态光束生成模块、旋转承载模块和闭环控制模块，动态光束生成模块包括激光器、偏振片、线光束整形组件、反射镜、中空圆锥透镜和升降模组，线光束整形组件用于将激光束整形成一字型线光束，中空圆锥透镜为中空且端面开口的圆锥形透镜，用于将一字型线光束整形成弧形线光束，中空圆锥透镜安装在升降模组上以产生动态的弧形线光束；旋转承载模块用于固定并驱动晶圆旋转，闭环控制模块用于控制升降模组的升降和旋转承载模块的运动。本发明可大幅度提高抛光速度，也提高了抛光的均匀性和抛光质量，可同时对多个晶圆进行减薄抛光加工，且可适应不同尺寸和形状的晶圆。

本发明授权基于动态线光束的大尺寸晶圆减薄抛光装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于动态线光束的大尺寸晶圆减薄抛光装置，其特征在于，包括动态光束生成模块、旋转承载模块和闭环控制模块，所述动态光束生成模块包括激光器、偏振片、线光束整形组件、反射镜、中空圆锥透镜和升降模组，所述激光器用于产生高斯激光束，所述线光束整形组件用于将激光束整形成一字型线光束，所述偏振片设置在所述激光器与线光束整形组件之间，所述中空圆锥透镜为中空且端面开口的圆锥形透镜，其壁厚一致，用于将一字型线光束整形成弧形线光束，中空圆锥透镜端面开口朝上、圆锥角朝下地安装在所述升降模组上并在升降模组的驱动下上下移动，以产生动态的弧形线光束，所述反射镜设置于线光束整形组件与中空圆锥透镜之间，激光器产生的激光束经偏振片到达线光束整形组件后，被整形成一字型线光束，再经反射镜反射后，进入中空圆锥透镜的内圆锥面，并由中空圆锥透镜的外圆锥面射出，形成用于对晶圆进行减薄抛光的弧形线光束，弧形线光束随着升降模组调节位置和形状； 所述旋转承载模块用于固定并驱动晶圆旋转，所述闭环控制模块分别与所述升降模组和旋转承载模块相连，以控制升降模组的升降和旋转承载模块的运动； 还包括检测模块，所述检测模块包括设置在旋转承载模块上方的白光干涉仪和红外热像仪，所述白光干涉仪用于对晶圆的加工表面进行检测，所述红外热像仪用于检测晶圆激光减薄抛光过程中的温度，白光干涉仪和红外热像仪分别与闭环控制模块相连，以传输检测数据，闭环控制模块根据实时检测数据控制升降模组和旋转承载模块的运动。

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