西安交通大学;徐州基恩电子科技有限公司戴正飞获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学;徐州基恩电子科技有限公司申请的专利一种Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层及制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119843218B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510329334.1,技术领域涉及:C23C14/06;该发明授权一种Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层及制备方法和应用是由戴正飞;来睿思;黄丛隐;邓真桢;伍维博设计研发完成,并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层及制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层及制备方法和应用,属于表面工程防护技术领域。本发明提供了一种Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层,Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层是在基板上由下到上依次沉积的氮化钛涂层和氮化钛铝涂层;Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层的厚度为240nm~270nm。本发明的Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层无需使用贵金属,降低成本,同时具有优异的导电性能和耐腐蚀性能。
本发明授权一种Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层及制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层的制备方法,其特征在于,所述Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层是在基板上由下到上依次沉积的氮化钛涂层和氮化钛铝涂层;所述Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层的厚度为240nm~270nm; Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层的制备方法包括以下步骤: 在保护气体气氛下,以氮化钛靶为靶材,在基板表面进行第一脉冲激光沉积形成氮化钛涂层;第一脉冲激光沉积中,反应腔体的气压为2Pa~4Pa,沉积温度为400℃,沉积时间为800s~1000s;激光频率为8Hz,激光能量为3342mJ; 在保护气体气氛下,以氮化钛铝靶为靶材,在氮化钛涂层表面进行第二脉冲激光沉积形成氮化钛涂层,得到Al掺杂过渡金属氮化物复合涂层;第二脉冲激光沉积中,反应腔体的气压为2Pa~4Pa,沉积温度为400℃,沉积时间为1000s~1200s;激光频率为8Hz,激光能量为3342mJ; 氮化钛铝靶由以下质量百分比的组分组成:铝6%,氮化钛94%。
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