昆山一鼎工业科技有限公司门松明珠获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山一鼎工业科技有限公司申请的专利基于GAN的金属镀层CCD检测模型的构建方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119692212B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510208369.X,技术领域涉及:G06F30/27;该发明授权基于GAN的金属镀层CCD检测模型的构建方法及系统是由门松明珠;周智翰;周爱和设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于GAN的金属镀层CCD检测模型的构建方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了基于GAN的金属镀层CCD检测模型的构建方法及系统,属于半导体电子元件的金属镀层检测技术领域。本发明所构建的GAN网络输出满足阈值范围的影像数据处理结果为“良品”;而输出的超越阈值范围的影像数据处理结果为“缺失品”,以此标准严格管理半导体电子元件的电子电镀高端质量要求。此外,采用镀件总质量阈值判别模块模拟监测半导体器件电子电镀后的外观、形状、颜色和整体形貌特征,通过满足最小阈值为镀层规格值‑5%,最大阈值为镀层规格值+5%的标准,提升GAN网络训练的精准性,并且迅速实现生成器与判别器的训练分布,从而获得CCD检测机构模型的优选标准,达到精准、快速识别良品或缺失品的检测效果。
本发明授权基于GAN的金属镀层CCD检测模型的构建方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种金属镀层CCD检测模型的构建方法,其特征在于,所述方法包括: 步骤1:获取待加工半导体镀件的尺寸数据、镀层区域; 步骤2:获取待加工半导体镀件镀层区域的尺寸数据集以及待电镀的金属镀层信息,计算镀件建模总质量m 建模总质量,计算方法为: m 建模总质量 =m 镀件质量 +m 镀层1 +m 镀层2 + ...... +m 镀层n 步骤3:随机抽取镀层质量标准条件,利用电子电镀模组对所述待加工半导体镀件进行实际的电镀操作,电镀完成后,利用精密天平测量镀件实测总质量m 实测总质量; 步骤4:对所述镀件建模总质量m 建模总质量和镀件实测总质量m 实测总质量进行比较,当两者满足以下关系时: m 实测总质量(100%-5%)≤m 建模总质量≤m 实测总质量(100%+5%) 则保存该组镀件建模总质量m 建模总质量和镀件实测总质量m 实测总质量数据以用于GAN神经网络的训练; 如果不满足以上关系,对镀层质量标准条件依据实测镀件总质量m 实测总质量进行修正,并计算出修正的镀层质量标准条件,返回步骤3重新实测镀件总质量m 实测总质量,并重新判别修正后的镀件建模总质量m 建模总质量是否满足阈值范围,直到建模镀件总质量m 建模总质量满足上述关系时,该组镀件建模总质量m 建模总质量和镀件实测总质量m 实测总质量数据才能用于GAN神经网络的训练; 步骤5:将镀件建模总质量m 建模总质量和镀件实测总质量m 实测总质量导入GAN神经网络,对镀件建模总质量m 建模总质量和镀件实测总质量m 实测总质量进行GAN博弈系统的学习和对抗训练处理,训练好的GAN神经网络根据输入的镀件建模总质量m 建模总质量和镀件实测总质量m 实测总质量将电子电镀产品分为良品和缺失品。
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