国科大杭州高等研究院张力波获国家专利权
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龙图腾网获悉国科大杭州高等研究院申请的专利一种基于微结构调控的钽镍硒中红外探测器及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119364874B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411899131.8,技术领域涉及:H10F30/10;该发明授权一种基于微结构调控的钽镍硒中红外探测器及其应用是由张力波;侯时聪;张拾;萧克宁;莫雯淇;温元峰;张运铎;张凯旋;郭旭光;陈效双设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于微结构调控的钽镍硒中红外探测器及其应用在说明书摘要公布了:本发明的一种基于微结构调控的钽镍硒中红外探测器,在本征高阻硅衬底上设置二氧化硅层,二氧化硅层上设有等离激元微结构和光栅结构,所述光栅结构与等离激元微结构有间距地设置,等离激元微结构和光栅结构上覆有一钽镍硒纳米片,所述钽镍硒纳米片上覆有六方氮化硼纳米片保护层。本发明利用钽镍硒与金的能带对准,与微结构中的等离激元微结构和光栅微结构实现微结构区的中红外吸收增强和非对称的温度分布的协同作用,实现高效的中红外自驱动探测、高响应速度、高效率、高性能的红外探测。
本发明授权一种基于微结构调控的钽镍硒中红外探测器及其应用在权利要求书中公布了:1.一种基于微结构调控的钽镍硒中红外探测器,其特征在于:在本征高阻硅衬底上设置二氧化硅层,二氧化硅层上设有等离激元微结构,整体呈长方形,等离激元微结构包括两个十字形等离激元微结构,两者设有间距地呈交叉指状分布,各十字形等离激元微结构分别与第一正电极和第一负电极连接;十字形等离激元金属微结构包括若干十字形共振结构单元,均匀分布在交叉指状结构上;二氧化硅层上还设有光栅结构,整体呈长方形,所述光栅结构与等离激元微结构有间距地设置,所述光栅结构包括两个光栅微结构,两个光栅微结构有间隔地呈交叉指状分布,各光栅微结构分别与第二正电极和第二负电极连接;等离激元微结构和光栅结构上覆有一钽镍硒纳米片,所述钽镍硒纳米片上覆有六方氮化硼纳米片保护层; 等离激元微结构、光栅结构为复合金属结构,上层金属为金,通过钽镍硒纳米片中的钽镍硒与金的能带对准,协同等离激元微结构产生的局域共振增强效应和光栅结构增强入射光耦合,增强了探测器的中红外吸收,增强了室温下的中红外响应,实现在室温下的中红外自驱动探测; 其中,光栅结构将入射中红外光的路径重新分布,引导更多光能量集中到十字形等离激元结构附近,钽镍硒材料在十字形微结构区域内产生明显的光热转换,这种光热转换导致该区域内温度显著升高,并在十字形共振结构单元区与其他区域之间形成清晰的温度梯度,热电子沿温度梯度方向从高温区域-十字形共振结构单元区迁移至低温区域-非微结构区域,从而在钽镍硒纳米片内形成稳定的热电场。
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