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广州三义激光科技有限公司陈聪获国家专利权

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龙图腾网获悉广州三义激光科技有限公司申请的专利一种多波段激光共聚焦碳化硅晶锭加工设备及加工方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119658158B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411841647.7,技术领域涉及:B23K26/38;该发明授权一种多波段激光共聚焦碳化硅晶锭加工设备及加工方法是由陈聪;李贵林;廖世明;陈立波;董青林设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种多波段激光共聚焦碳化硅晶锭加工设备及加工方法在说明书摘要公布了:一种多波段激光共聚焦碳化硅晶锭加工设备及加工方法,包括载物台和激光组件,激光组件包括第一激光器、第二激光器、第一反射镜、第二反射镜以及激光聚焦镜,第一反射镜反射的由第一激光器发射的第一波长激光后,与第二反射镜反射的由第二激光器发射的第二波长激光共光路输出,并经激光聚焦镜对载物台上待加工晶锭进行加工;载物台包括X轴移动模组、Y轴移动模组、C轴模组和B轴模组,C轴模组用于驱动待加工晶锭绕其垂直中心轴进行回转运动,B轴模组用于驱动待加工晶锭在竖直平面内摆动。本发明可提高激光加工效率,并可切割出圆柱形晶锭,且结构简单,易于操作和控制,成本低,尤其适合于厚度大、硬度高、精密度高的碳化硅晶锭的切割。

本发明授权一种多波段激光共聚焦碳化硅晶锭加工设备及加工方法在权利要求书中公布了:1.一种多波段激光共聚焦碳化硅晶锭加工设备,其特征在于,包括载物台和激光组件,所述载物台用于承载待加工晶锭,所述激光组件包括第一激光器、第二激光器、第一反射镜、第二反射镜和激光聚焦镜,所述第一反射镜用于反射由所述第一激光器发射的第一波长激光,所述第二反射镜用于反射由所述第二激光器发射的第二波长激光,经反射后的所述第一波长激光和经反射后的所述第二波长激光共光路输出,并经所述激光聚焦镜对所述载物台上的待加工晶锭进行加工;所述载物台包括X轴移动模组、Y轴移动模组、C轴模组和B轴模组,所述Y轴移动模组设置在所述X轴移动模组上,所述B轴模组设置在所述Y轴移动模组上,所述C轴模组设置在所述B轴模组上,所述C轴模组与待加工晶锭连接,所述C轴模组用于驱动待加工晶锭绕其垂直中心轴进行回转运动,所述B轴模组用于驱动待加工晶锭在竖直平面内摆动,使待加工晶锭的垂直中心轴相对于竖直方向倾斜,以消除经激光聚焦镜聚焦后的锥形激光束对晶锭侧面的切割影响,从而加工出侧面与底面完全垂直的圆柱形晶锭; 所述B轴模组用于驱动待加工晶锭在竖直平面内摆动,使待加工晶锭的垂直中心轴相对于竖直方向偏转一个角度α,α=θ2,其中θ为所述锥形激光束的圆锥角,,D为入射到激光聚焦镜的光束直径,WD为激光聚焦镜与激光焦点之间的距离。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广州三义激光科技有限公司,其通讯地址为:510000 广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城彩频路7号101;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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