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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119446999B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411577024.3，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质是由王世俊;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质。该方法包括：根据电机旋转得到的托盘图像确定托盘旋转中心位置；其中，托盘上刻有半径大于目标晶圆半径的参考圆刻度线；将目标晶圆放置在托盘上的参考圆刻度线内，并对托盘进行图像采集得到目标图像；基于目标图像，根据参考圆刻度线与目标晶圆之间的距离确定晶圆圆心位置；基于目标图像，根据参考圆刻度线、晶圆圆心位置以及晶圆缺口识别信息确定晶圆偏移角度；根据托盘旋转中心位置、晶圆圆心位置以及晶圆偏移角度对目标晶圆上的测试点进行位置校准。本发明提高了晶圆校准效率，避免对晶圆校准时需要反复从晶圆载具到晶圆校准器再到工艺位上的来回取晶圆操作。

本发明授权基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质在权利要求书中公布了：1.一种基于机器视觉的晶圆校准方法，其特征在于，该方法包括： 根据电机旋转得到的托盘图像确定托盘旋转中心位置；其中，所述托盘上刻有半径大于目标晶圆半径的参考圆刻度线； 将目标晶圆放置在托盘上的所述参考圆刻度线内，并对所述托盘进行图像采集得到目标图像； 基于所述目标图像，根据所述参考圆刻度线与所述目标晶圆之间的距离确定晶圆圆心位置； 基于所述目标图像，根据所述参考圆刻度线、所述晶圆圆心位置以及晶圆缺口识别信息确定晶圆偏移角度； 根据所述托盘旋转中心位置、所述晶圆圆心位置以及所述晶圆偏移角度对所述目标晶圆上的测试点进行位置校准； 其中，基于所述目标图像，根据所述参考圆刻度线与所述目标晶圆之间的距离确定晶圆圆心位置，包括： 根据所述目标图像的识别结果，确定所述参考圆刻度线与所述目标晶圆之间的最大距离和最小距离； 根据所述最大距离对应的所述参考圆刻度线与所述目标晶圆之间的连线，确定所述目标晶圆上的最大距离点； 根据所述最小距离对应的所述参考圆刻度线与所述目标晶圆之间的连线，确定所述目标晶圆上的最小距离点； 根据所述最大距离点和最小距离点确定所述晶圆圆心位置； 其中，根据所述托盘旋转中心位置、所述晶圆圆心位置以及所述晶圆偏移角度对所述目标晶圆上的测试点进行位置校准，包括： 确定所述目标晶圆上的测试点的初始测试点位置； 根据所述托盘旋转中心位置和所述晶圆圆心位置确定中心点偏移； 根据所述中心点偏移和所述晶圆偏移角度对所述初始测试点位置进行位置校准，得到校准测试点位置； 其中，基于如下公式根据所述中心点偏移和所述晶圆偏移角度对所述初始测试点位置进行位置校准，包括： ； 其中，为所述初始测试点位置，为所述校准测试点位置，为所述中心点偏移，为所述晶圆偏移角度。

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