上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司简景涛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种排气管路装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223165427U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422605665.7，技术领域涉及：F17D5/02；该实用新型一种排气管路装置及半导体工艺设备是由简景涛设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种排气管路装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种排气管路装置及半导体工艺设备，装置包括：排气管，用于将半导体工艺设备排出的尾气输送至尾气处理设备；绝缘罩体，罩设于所述排气管外部，在所述罩体的内壁与所述排气管的外壁之间形成密闭空腔；压力检测模块，用于检测所述空腔内的气压；负压装置，用于在所述半导体工艺设备开始工作前，使所述空腔内处于预负压状态。本实用新型能够对排气管的泄漏状况进行实时监测，防止因排气管的泄漏导致尾气扩散到周围环境中，并能保证排气管的绝缘性。
本实用新型一种排气管路装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种排气管路装置，其特征在于，包括： 排气管，用于将半导体工艺设备排出的尾气输送至尾气处理设备； 绝缘罩体，罩设于所述排气管外部，在所述罩体的内壁与所述排气管的外壁之间形成密闭空腔； 压力检测模块，用于检测所述空腔内的气压； 负压装置，用于在所述半导体工艺设备开始工作前，使所述空腔内处于预负压状态。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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