上海琮光半导体科技有限公司蒋平获国家专利权
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龙图腾网获悉上海琮光半导体科技有限公司申请的专利一种滤光装置和激光光刻设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223166973U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422574268.8,技术领域涉及:G02B26/00;该实用新型一种滤光装置和激光光刻设备是由蒋平;陈新宏;刘康设计研发完成,并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种滤光装置和激光光刻设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种滤光装置和激光光刻设备,其中滤光装置包括驱动电机和滤光轮;驱动电机包括同轴设置的环形定子、环形转子和空心主轴,空心主轴贯穿环形转子和环形定子设置,空心主轴与环形转子固定连接,环形定子可驱动环形转子和空心主轴一起转动;滤光轮与空心主轴同轴设置,滤光轮包括轮盘和安装于轮盘上的多个滤光片,轮盘与空心主轴固定连接,多个滤光片对应空心主轴的中心空腔的位置进行设置。解决了现有滤光装置需要较大安装空间的技术问题。
本实用新型一种滤光装置和激光光刻设备在权利要求书中公布了:1.一种滤光装置,其特征在于,包括驱动电机和滤光轮9; 驱动电机包括同轴设置的环形定子1、环形转子2和空心主轴3,空心主轴3贯穿环形转子2和环形定子1设置,空心主轴3与环形转子2固定连接,环形定子1可驱动环形转子2和空心主轴3一起转动; 滤光轮9与空心主轴3同轴设置,滤光轮9包括轮盘91和安装于轮盘91上的多个滤光片92,轮盘91与空心主轴3固定连接,多个滤光片92对应空心主轴3的中心空腔的位置进行设置。
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