湖北兴福电子材料股份有限公司万富强获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北兴福电子材料股份有限公司申请的专利一种电子级HMDS灌装系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223165417U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422516079.5，技术领域涉及：F17D3/01；该实用新型一种电子级HMDS灌装系统是由万富强;贺兆波;杨着;叶瑞;侯建鑫;李锐峰;张刚;崔会东;艾琼;冯晨设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子级HMDS灌装系统在说明书摘要公布了：一种电子级HMDS灌装系统，该系统包括产品储存单元、产品过滤单元、产品检测单元、产品自动灌装单元、供气与尾气单元；产品储存单元包括耐压产品罐、常压储罐、外部来料阀门；耐压产品罐包括第一耐压产品罐、第二耐压产品罐；供气与尾气单元包括氮气供给装置，氮气供给装置的氮气供给端与耐压产品罐、常压储罐的氮气输入口连接；第一耐压产品罐与氮气供给装置的氮气供给端之间的管路上设有第一惰性压料气进气阀门；第二耐压产品罐与氮气供给装置的氮气供给端之间的管路上设有第二惰性压料气进气阀门。本实用新型旨在实现高纯度化学品的精确灌装，并确保整个过程的安全性和洁净度。
本实用新型一种电子级HMDS灌装系统在权利要求书中公布了：1.一种电子级HMDS灌装系统，其特征在于，该系统包括产品储存单元（1）、产品过滤单元（2）、产品检测单元（3）、产品自动灌装单元（4）、供气与尾气单元（5）； 产品储存单元（1）包括耐压产品罐、常压储罐（13）、外部来料阀门（16）；耐压产品罐包括第一耐压产品罐（11）、第二耐压产品罐（12）； 供气与尾气单元（5）包括氮气供给装置，氮气供给装置的氮气供给端与耐压产品罐、常压储罐（13）的氮气输入口连接； 第一耐压产品罐（11）与氮气供给装置的氮气供给端之间的管路上设有第一惰性压料气进气阀门（17）；第二耐压产品罐（12）与氮气供给装置的氮气供给端之间的管路上设有第二惰性压料气进气阀门（18）；常压储罐（13）与氮气供给装置的氮气供给端之间的管路上设有第三惰性气体补气阀门（15）。
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