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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种阀分时控制结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223165081U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422487046.2，技术领域涉及：F16K11/10；该实用新型一种阀分时控制结构是由黄鑫宇;郭东;张怀东设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种阀分时控制结构在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备技术领域，具体地说是一种阀分时控制结构，包括阀主体，阀主体的内部开设有多组阀体流道，还包括动力输入轴、若干组配合设置的凸轮及传动组件。本实用新型通过在一个动力输入轴及若干组配合设置的凸轮及传动组件的配合设置，可实现仅由一台电气驱动元件驱动动作，并可实现带动多个膜片件进行不同动作，即在驱动元件数量最少的前提下，可实现不同的阀体流道的开闭分时控制，阀的点位功能更丰富、成本更低、整体体积更小。本实用新型的结构设置还可实现在阀整个行程内的任意位置可控，能够适用于回吸及调流工况，具有开口量易调控、范围宽，响应快等优点。

本实用新型一种阀分时控制结构在权利要求书中公布了：1.一种阀分时控制结构，包括阀主体，所述阀主体的内部开设有多组阀体流道，每组所述阀体流道均包括进液口101、排液口102、进液孔道103、排液孔道104及膜片设置腔105，每组所述阀体流道的进液口101均用于与对应的外接进液管路连接，每组所述阀体流道的排液口102均用于与对应的外接排液管路连接，每组所述阀体流道的进液孔道103的一端开口均与同组阀体流道的进液口101相连通，每组所述阀体流道的排液孔道104的一端开口均与同组阀体流道的排液口102相连通，每组所述阀体流道的进液孔道103的另一端开口及每组所述阀体流道的排液孔道104的另一端开口分别与同组阀体流道的膜片设置腔105相连通，每组所述阀体流道的膜片设置腔105中均设有用于封闭或开启同组阀体流道的进液孔道103的另一端开口的膜片件5，其特征在于：还包括动力输入轴6、若干组配合设置的凸轮7及传动组件，所述阀主体的内部还设有若干个凸轮设置腔301及若干个传动组件安装腔201，每个所述传动组件安装腔201分别与一个所述凸轮设置腔301及对应的一组的阀体流道的膜片设置腔105相对应； 所述动力输入轴6的一端位于所述阀主体的外侧、并用于与外接驱动件连接，所述动力输入轴6的另一端延伸至所述阀主体中、并与所述阀主体转动连接，所述动力输入轴6依次穿过各所述凸轮设置腔301，所述动力输入轴6上位于各所述凸轮设置腔301中处分别对应安装有所述凸轮7，所述凸轮7的外周面具有大半径段701及小半径段702； 每个所述传动组件安装腔201中分别设有一组所述传动组件，每组所述传动组件均具有动力输入端及动力输出端，每组所述传动组件的动力输出端延伸出对应的所述传动组件安装腔201、并与对应的一个阀体流道的膜片设置腔105中的膜片件5相连接，每组所述传动组件的动力输入端与相配合设置的凸轮7的外周面相抵接。

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