浙江百盛光电股份有限公司陈跃华获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江百盛光电股份有限公司申请的专利一种双工位全自动平面测量仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223166080U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422473181.1，技术领域涉及：G01B5/28；该实用新型一种双工位全自动平面测量仪是由陈跃华;卜志超;吴怡平;彭从锋设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双工位全自动平面测量仪在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种双工位全自动平面测量仪，包括有上料单元、测量单元以及机械臂；所述测量单元包括有测量底板；高精平晶，所述高精平晶设置在所述测量底板上方；水平载台，所述水平载台具有两个，且分别滑动连接在所述测量底板上端；测量模组，所述测量模组水平滑动连接在所述水平载台和所述高精平晶之间；所述测量底板上设置有暂存托架；所述暂存托架一端设置有U型开口；所述机械臂的末端转动连接有双面吸盘。设置两个用于放置晶圆的水平载台以及可以切换测量工位的测量模组，交替进行上料和测量过程。机械臂和暂存托架对晶圆进行翻面，无需人工协助。设置高精平晶为晶圆的水平测量提供了基准，继而提高了晶圆的测量精度。
本实用新型一种双工位全自动平面测量仪在权利要求书中公布了：1.一种双工位全自动平面测量仪，其特征在于：包括有上料单元、测量单元以及设置在所述上料单元和所述测量单元之间的机械臂；所述测量单元包括有测量底板； 高精平晶，所述高精平晶具有两个，且分别设置在所述测量底板上方； 水平载台，所述水平载台具有两个，且分别水平滑动连接在所述测量底板上端，两个所述水平载台分别可选择的在对应的所述高精平晶的正下方滑动； 测量模组，所述测量模组水平滑动连接在所述水平载台和所述高精平晶之间，所述测量模组位于所述高精平晶的正下方，所述水平载台的滑动方向与所述测量模组的滑动方向相互垂直； 其中，所述测量底板上设置有暂存托架；所述暂存托架朝向所述机械臂的一端设置有U型开口；所述机械臂的末端转动连接有双面吸盘；所述双面吸盘可选择的吸附位于所述暂存托架上晶圆的上端或下端。
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