麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司施朱斌获国家专利权
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龙图腾网获悉麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司申请的专利一种四探针测量仪测量待测晶圆的方法及四探针测量系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119291250B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411418660.1,技术领域涉及:G01R1/067;该发明授权一种四探针测量仪测量待测晶圆的方法及四探针测量系统是由施朱斌;刘相华;施立春;王永勇设计研发完成,并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种四探针测量仪测量待测晶圆的方法及四探针测量系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种四探针测量仪测量待测晶圆的方法及四探针测量系统,其中该方法包括:将晶圆放置在测试平台上;使所述四探针测量仪的探针与晶圆表面之间物理接触;用激光照射所述探针与晶圆的接触面;向所述四探针测量仪的其中两根针施加电流,测量另外两根针之间的电压降。本发明用激光照射半导体,使电子跃迁到导带,同时产生空穴,形成电子‑空穴对,从而改善接触特性,可以使探针和被测硅片表面形成良好的欧姆接触,提高硅片测量的稳定性。
本发明授权一种四探针测量仪测量待测晶圆的方法及四探针测量系统在权利要求书中公布了:1.一种四探针测量仪测量待测晶圆的方法,其特征在于,包括: 将晶圆放置在测试平台上; 使所述四探针测量仪的探针与晶圆表面之间物理接触; 用激光照射所述探针与晶圆的接触面,使电子跃迁到导带,同时产生空穴,形成电子空穴对,从而改善接触特性; 向所述四探针测量仪的其中两根针施加电流,测量另外两根针之间的电压降。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司,其通讯地址为:201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路2305号B幢12层(产证楼层为11层)1203工位;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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