深圳市矩阵多元科技有限公司黎佐兴获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种漏液检测装置及真空镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223166285U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422469799.0,技术领域涉及:G01M3/20;该实用新型一种漏液检测装置及真空镀膜设备是由黎佐兴;罗敏;杨福满;杨洪生;朱新华;张晓军设计研发完成,并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种漏液检测装置及真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种漏液检测装置及真空镀膜设备,涉及真空薄膜沉积技术领域,包括试纸、传感器和控制器,试纸设置于安装板上,安装板用于安装靶材,靶材连接有负电压,传感器位于安装板上设置试纸的一侧,传感器能够往试纸发射检测光线,检测光线能够从试纸上反射至传感器内,控制器与传感器电连接,在漏液时,试纸接触冷却液后会产生颜色变化,传感器检测到从试纸上反射的检测光线的颜色变化并把故障信号反馈至控制器,能对漏液进行实时检测,确保设备和人员的安全。真空镀膜设备设有第一箱体,传感器固定于第一箱体,安装板固定于第一箱体内,传感器往安装板发出检测光线,通过检测颜色变化实现漏液检测。
本实用新型一种漏液检测装置及真空镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种漏液检测装置,其特征在于,包括: 试纸,设置于安装板,所述安装板安装有靶材,所述靶材连接有负电压; 传感器,位于所述安装板上设置所述试纸的一侧,所述传感器能够往所述试纸发射检测光线,所述检测光线能够从所述试纸上反射至所述传感器内; 控制器,与所述传感器电连接,在漏液时,所述试纸接触冷却液后会产生颜色变化,所述传感器检测到从所述试纸上反射的所述检测光线的颜色变化并把故障信号反馈至所述控制器。
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