宁波盈创科技成果转化服务合伙企业(有限合伙)鲁天豪获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波盈创科技成果转化服务合伙企业(有限合伙)申请的专利气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223163482U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422453659.4，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型气相沉积装置是由鲁天豪;薛运周;何少龙设计研发完成，并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本气相沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种气相沉积装置，气相沉积装置包括：反应设备，反应设备内形成有反应腔，反应设备上还设置有反应腔的进口；升华设备，升华设备与反应设备构造为一体结构，升华设备上形成有与反应设备相贴合的连接面，升华设备内形成有与反应腔连通的升华腔，连接面上形成有升华腔的出口，升华腔内的气体由升华腔出口朝向反应腔进口流动。根据本实用新型的气相沉积装置通过升华设备和反应设备构造为一体结构，升华设备上形成与反应设备相贴合的连接面，连接面上形成与反应腔进口连通的升华腔出口，升华腔内的气体由升华腔出口朝向反应腔进口流动，从而防止气体从升华设备和反应设备的连接处泄漏，提高了气相沉积装置运行时的安全性和可靠性。
本实用新型气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积装置，其特征在于，包括： 反应设备11，所述反应设备11内形成有反应腔101，所述反应设备11上还设置有所述反应腔101的进口； 升华设备21，所述升华设备21与所述反应设备11构造为一体结构，所述升华设备21上形成有与所述反应设备11相贴合的连接面，所述升华设备21内形成有与所述反应腔101连通的升华腔201，所述连接面上形成有所述升华腔201的出口，所述升华腔201内的气体由所述升华腔201出口朝向所述反应腔101进口流动。
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