上海新傲科技股份有限公司吴庆东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新傲科技股份有限公司申请的专利连接结构及半导体外延装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223163528U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422450559.6,技术领域涉及:C30B25/14;该实用新型连接结构及半导体外延装置是由吴庆东;李国扣;黄俊;李炜;汪金梅设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本连接结构及半导体外延装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种连接结构及半导体外延装置。所述连接结构包括:连接管体,沿第一方向延伸,所述连接管体包括沿所述第一方向相对分布的气体进口和气体出口,且所述气体进口与所述气体出口连通,所述连接管体上还具有位于所述气体进口和所述气体出口之间的销孔;固定销,穿过所述销孔且沿第二方向延伸至所述连接管体内部;第一密封圈,位于所述连接管体的内壁,且所述第一密封圈分布于所述固定销与所述气体出口之间;第二密封圈,环绕所述连接管体的外壁分布,且所述第二密封圈密封所述销孔。本实用新型减少了反应气体的泄露,减少了颗粒物的聚集,避免造成晶圆的表观不良。
本实用新型连接结构及半导体外延装置在权利要求书中公布了:1.一种连接结构,其特征在于,包括: 连接管体,沿第一方向延伸,所述连接管体包括沿所述第一方向相对分布的气体进口和气体出口,且所述气体进口与所述气体出口连通,所述连接管体上还具有位于所述气体进口和所述气体出口之间的销孔; 固定销,穿过所述销孔且沿第二方向延伸至所述连接管体内部,且所述第一方向与所述第二方向垂直相交; 第一密封圈,位于所述连接管体的内壁,且所述第一密封圈分布于所述固定销与所述气体出口之间; 第二密封圈,环绕所述连接管体的外壁分布,且所述第二密封圈密封所述销孔。
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