浙江星辉新材料科技股份有限公司刘东宏获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江星辉新材料科技股份有限公司申请的专利锅托气相沉积用工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223163525U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422423389.2,技术领域涉及:C30B15/10;该实用新型锅托气相沉积用工装是由刘东宏;王伟亮;李大龙;冀唯一;朱海翔;乔晓东;徐良宇;周骏超;郁超设计研发完成,并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本锅托气相沉积用工装在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种锅托气相沉积用工装,涉及气相沉积配件技术领域,具体包括承载件和限位组件;承载件具有承载面;限位组件有多个,多个限位组件沿承载件的周向设置与承载面上,多个限位组件与承载面合围成多个置物空间,多个置物空间沿承载件的周向分布,置物空间用于立放锅托;其中,承载件上设置有多个气孔,多个气孔分别位于多个置物空间的底部,气孔沿竖直方向贯穿承载件。锅托立放在置物空间,空间利用率更高,并且,每个置物空间的底部均设置有气孔以使气体能够从气孔进入至置物空间,从而与置物空间内的锅托接触,气体能够通过气孔直接与每个置物空间内的锅托接触,沉积效果更加优异。
本实用新型锅托气相沉积用工装在权利要求书中公布了:1.一种锅托气相沉积用工装,其特征在于,包括:承载件100和限位组件200; 所述承载件100具有承载面; 所述限位组件200有多个,多个所述限位组件200沿所述承载件100的周向设置与所述承载面上,多个所述限位组件200与所述承载面合围成多个置物空间,多个所述置物空间沿所述承载件100的周向分布,所述置物空间用于立放锅托; 其中,所述承载件100上设置有多个气孔110,多个所述气孔110分别位于多个所述置物空间的底部,所述气孔110沿竖直方向贯穿所述承载件100。
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