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武汉芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权

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龙图腾网获悉武汉芯丰精密科技有限公司申请的专利晶圆夹持装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223167472U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422379649.0,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型晶圆夹持装置是由万先进;韦俊丞;尤国振;朱松;魏兴亮;锁志勇;边逸军设计研发完成,并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆夹持装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆转移技术领域,具体公开了一种晶圆夹持装置,该晶圆夹持装置包括底座、滑台气缸和两个夹持件,其中,滑台气缸设于底座;两个夹持件能相互靠近或远离,且二者中的至少一个与滑台气缸的驱动端传动连接,夹持件中的一个设有限位螺孔;限位组件包括限位螺钉,限位螺钉的至少部分位于两个夹持件之间,且能与限位螺孔螺纹配合,限位螺钉被布置成位于具有限位螺孔的夹持件外部的长度可调,两个夹持件相互靠近并止动于抵接限位螺钉的位置。上述结构中,通过调节限位螺钉的位置,当两个夹持件相互靠近时,不带有限位螺钉的夹持件抵接到限位螺钉,从而使得两个夹持件无法进一步靠近,进而避免将晶圆夹破,且能免晶圆掉落。

本实用新型晶圆夹持装置在权利要求书中公布了:1.晶圆夹持装置,其特征在于,包括: 底座100; 滑台气缸200,所述滑台气缸200设于所述底座100; 两个夹持件300,两个所述夹持件300能相互靠近或远离,且二者中的至少一个与所述滑台气缸200的驱动端传动连接,所述夹持件300中的一个设有限位螺孔; 限位组件400,所述限位组件400包括限位螺钉410,所述限位螺钉410的至少部分位于两个所述夹持件300之间,且能与所述限位螺孔螺纹配合,所述限位螺钉410被布置成位于具有限位螺孔的所述夹持件300外部的长度可调,两个所述夹持件300相互靠近并止动于抵接所述限位螺钉410的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人武汉芯丰精密科技有限公司,其通讯地址为:430040 湖北省武汉市东西湖区东柏路888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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