上海虹翌智能科技有限公司陈文顶获国家专利权
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龙图腾网获悉上海虹翌智能科技有限公司申请的专利一种6寸晶圆盒和8寸晶圆盒共用承载台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223167451U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422382649.6,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种6寸晶圆盒和8寸晶圆盒共用承载台是由陈文顶;陈兆祥设计研发完成,并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种6寸晶圆盒和8寸晶圆盒共用承载台在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体加工技术领域,是关于一种6寸晶圆盒和8寸晶圆盒共用承载台,其包括:承载台本体,所述承载台本体上设有第一限位凹部和第二限位凹部,所述第一限位凹部和第二限位凹部以承载台本体的Y轴为中心对称设置;所述第二限位凹部的结构与第一限位凹部的结构相对称;所述第一限位凹部包括从后往前依次相连通的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽,所述第一凹槽的后端宽度小于第一凹槽的前端宽度;第三凹槽的宽度小于第二凹槽的宽度。采用上述结构后,其有益效果是:通过一个承载台实现6寸晶圆盒和8寸晶圆盒共用,不需要专款专用,能降低企业的生产成本,实用性强。
本实用新型一种6寸晶圆盒和8寸晶圆盒共用承载台在权利要求书中公布了:1.一种6寸晶圆盒和8寸晶圆盒共用承载台,其特征在于,其包括:承载台本体,所述承载台本体上设有第一限位凹部和第二限位凹部,所述第一限位凹部和第二限位凹部以承载台本体的Y轴为中心对称设置;所述第二限位凹部的结构与第一限位凹部的结构相对称;所述第一限位凹部包括从后往前依次相连通的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽,所述第一凹槽的后端宽度小于第一凹槽的前端宽度;第三凹槽的宽度小于第二凹槽的宽度。
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