肇庆市鸿利达真空设备科技有限公司黄红峰获国家专利权
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龙图腾网获悉肇庆市鸿利达真空设备科技有限公司申请的专利一种三室卧式磁控镀膜机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223163475U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422353348.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种三室卧式磁控镀膜机是由黄红峰;龙强设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三室卧式磁控镀膜机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种三室卧式磁控镀膜机，包括依次连接的进片台、前真空室、磁控溅射镀膜室、后真空室和出片台以及设置在它们之间的真空锁门，所述进片台、所述前真空室、所述磁控溅射镀膜室、所述后真空室和所述出片台均设有带动工件往前运动的传动滚轴，所述前真空室和所述后真空室均连接有多个真空泵机组，所述磁控溅射镀膜室连接有多个分子泵，所述磁控溅射镀膜室内还设有旋转圆柱靶，所述前真空室、所述磁控溅射镀膜室和所述后真空室设有放气阀。该设备采用3个的腔体结构，经济成本低，在前真空室和后真空室设置真空泵机组；磁控溅射镀膜腔体设置多个分子泵，真空度波动小，镀膜稳定，靶材使用率高，生产效率高。
本实用新型一种三室卧式磁控镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种三室卧式磁控镀膜机，其特征在于，包括依次连接的进片台（100）、前真空室（110）、磁控溅射镀膜室（120）、后真空室（130）和出片台（140）以及设置在它们之间的真空锁门（150），所述进片台（100）、所述前真空室（110）、所述磁控溅射镀膜室（120）、所述后真空室（130）和所述出片台（140）均设有带动工件往前运动的传动滚轴（180），所述前真空室（110）和所述后真空室（130）均连接有多个真空泵机组（160），所述磁控溅射镀膜室（120）连接有多个分子泵（170），所述磁控溅射镀膜室（120）内还设有旋转圆柱靶，所述前真空室（110）、所述磁控溅射镀膜室（120）和所述后真空室（130）设有放气阀。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人肇庆市鸿利达真空设备科技有限公司，其通讯地址为：526108 广东省肇庆市高要区金渡镇金渡工业园(肇庆市高要区精密压铸制品有限公司厂区内D5区之2号厂房)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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