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龙图腾网获悉浙江旭盛电子有限公司申请的专利硅片腐蚀的夹持与传输机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167461U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422341521.5，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型硅片腐蚀的夹持与传输机构是由詹玉峰;方萌;陈玮;方真洪;陆美凤;廖建军;戴文仙;刘小祥设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅片腐蚀的夹持与传输机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为硅片腐蚀的夹持与传输机构，包括横梁；滑块的前端面固定有安装架，安装架的顶部固定有两个电缸；两个侧板之间处设有两个相对称且可同步相对运动的调节板，调节板的左右两侧壁均固定有连接块；马达驱动丝杆转动，连接架可水平运动，进而方便夹持部水平运动，该设计利于将装载有硅片的夹持部传输至腐蚀液的上方处，利于后续的腐蚀作业；通过设置的夹持部，多个硅片可夹持于多个夹槽之间处，从而方便将多个硅片置入腐蚀液中进行腐蚀处理；通过设置的可相对运动的调节板，两个调节板之间的距离可调节，进而方便对不同尺寸的硅片进行夹持固定。

本实用新型硅片腐蚀的夹持与传输机构在权利要求书中公布了：1.硅片腐蚀的夹持与传输机构，包括横梁1，其特征在于：横梁1上开设有滑槽10，滑槽10内转动安装有螺纹杆12，横梁1的末端安装有用于驱动螺纹杆12转动的马达13，螺纹杆12上螺纹连接有可水平运动的滑块14，滑块14的前端面固定有安装架15，安装架15的顶部固定有两个电缸16； 安装架15的下方设有夹持部2，夹持部2包括两个相对称的侧板21，侧板21的外壁靠近顶端处均开设有条形槽211，左侧的条形槽211内固定有导杆22，右侧的条形槽211内转动安装有双头丝杆23；两个侧板21之间靠近底端处固定有多个挡杆25；两个侧板21之间的上方处设有可拆卸的连接架20，且电缸16的活塞杆底端与连接架20的顶端固定； 两个侧板21之间处设有两个相对称且可同步相对运动的调节板26，调节板26的左右两侧壁均固定有连接块261，导杆22穿过一侧的连接块261并与连接块261滑动连接，双头丝杆23穿过另一侧的连接块261并与连接块261螺纹连接；两个调节板26的两个相对立的一端面均开设有多个用于夹持硅片的夹槽262。

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