无锡互创芯微半导体科技有限公司李仙获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡互创芯微半导体科技有限公司申请的专利一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223167465U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422334671.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构是由李仙;肖明设计研发完成，并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构，其包括：真空室本体下表面设置有过滤箱一与过滤箱二，且通过连接板相连接，过滤箱一与过滤箱二通过连接管三相连通，过滤箱一与过滤箱二内均固定连接有导流板，导流板上下表面均设置有多个滤网，滤网两端均固定连接有固定板二，过滤箱一与真空室本体之间通过连接管二相连通，过滤箱二下表面固定连接有连接管一，连接管一远离过滤箱二一端固定连接有惰性气体控制输送模块，通过以上结构，便于在惰性气体输送或回流时，对惰性气体进行过滤，避免加工时产生的微尘或腔体内的颗粒物随回收流动而被吸取，避免在下次使用惰性气体时，对制造的产品质量造成影响。
本实用新型一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构在权利要求书中公布了：1.一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构，其特征在于，包括：真空室本体1，所述真空室本体1下表面固定连接有连接板12，所述连接板12下表面固定连接有过滤箱一8，所述过滤箱一8下表面固定连接有另一连接板12，另一所述连接板12下表面固定连接有过滤箱二9，所述过滤箱一8与过滤箱二9结构相同，且通过连接管三23相连通，所述过滤箱一8与过滤箱二9内均固定连接有导流板20，所述导流板20上下表面均设置有多个滤网19，所述滤网19两端均固定连接有固定板二25，所述固定板二25与过滤箱一8、过滤箱二9滑动连接，所述过滤箱一8与真空室本体1之间通过连接管二16相连通，所述连接管二16与连接管三23上分别设置有排气阀二15与排气阀四24，所述过滤箱二9下表面固定连接有连接管一10，所述连接管一10远离过滤箱二9一端固定连接有惰性气体控制输送模块11。
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