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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种利用液态镓基金属制备氧化镓外延层的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118782458B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410745871.X，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种利用液态镓基金属制备氧化镓外延层的方法是由刘子恒;秦福文;马春雨设计研发完成，并于2024-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种利用液态镓基金属制备氧化镓外延层的方法在说明书摘要公布了：本发明属于Ⅲ族氧化物薄膜和器件制造技术领域，涉及一种利用液态镓基金属制备氧化镓外延层的方法，采用ECR‑PEMOCVD设备进行制备，首先在氢氮等离子体清洗后的衬底的上表面制备氮氧化镓缓冲层，然后在氮氧化镓缓冲层的上表面制备液态镓基金属点阵，接着利用氢等离子体处理氮氧化镓缓冲层的上表面，以产生富镓层，进而利用液态镓基金属与富镓层的良好浸润性，在富镓层的上表面通过自蔓延形成连续且均布的液态镓基金属层，最后通过氧等离子体对液态镓基金属层的上表面进行氧化处理制备氧化镓外延层。本方法的制备温度低、晶体质量高、能精确控制氧化镓外延层厚度以及p型或n型掺杂浓度、能减少碳污染而提高载流子迁移率。

本发明授权一种利用液态镓基金属制备氧化镓外延层的方法在权利要求书中公布了：1.一种利用液态镓基金属制备氧化镓外延层的方法，其特征在于，采用ECR-PEMOCVD设备进行制备，包括以下步骤： 步骤1、对衬底表面进行化学清洗并干燥预处理； 步骤2、氢氮混合等离子体清洗衬底上表面； 步骤3、制备氮氧化镓GaOxNy缓冲层； 步骤4、制备液态镓基金属点阵：将衬底从真空反应室内的料台上传送至装样室，再从装样室传送至充满高纯氮气的手套箱中，其中氮气纯度在99.9％以上，然后使用针头直径为120～175微米的微细针在氮氧化镓GaOxNy缓冲层的上表面微量滴注液态镓基金属液滴，并使液态镓基金属液滴周期排列以制备液态镓基金属点阵；液态镓基金属点阵中的每个镓基金属液滴体积为20～40nL，最邻近的两个镓基金属液滴的中心距为0.32～1.6cm；其中，制备无掺杂的氧化镓外延层或制备掺氮的p型氧化镓外延层时，液态镓基金属液滴为液态纯镓金属；制备掺锌的p型氧化镓外延层时，液态镓基金属液滴为掺锌的液态镓基金属，锌与镓的摩尔比为1:100000～1:100；制备掺镁的p型氧化镓外延层时，液态镓基金属液滴为掺镁的液态镓金属，镁与镓的摩尔比为1:100000～1:100；制备掺硅的n型氧化镓外延层时，液态镓基金属液滴为掺硅的液态镓基金属，硅与镓的摩尔比为1:100000～1:10； 步骤5、氢等离子体处理制备富镓层； 步骤6、自蔓延液态镓基金属点阵制备液态镓基金属层：将制备有液态镓基金属点阵和富镓层的衬底升温至100～500℃并恒温，利用液态镓基金属与富镓层的的良好浸润性，使液态镓基金属沿着富镓层的上表面自蔓延，并形成连续且均布的液态镓基金属层，液态镓基金属层厚度控制为0.074～3.7μm； 步骤7、氧等离子体处理制备氧化镓外延层。

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