株式会社斯库林集团安武阳介获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115863207B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210884878.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由安武阳介;村元僚设计研发完成，并于2022-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置。在向旋转的基板9供给处理液来处理基板9的基板处理装置中，在支承基板9的下支承体21上可分离地载置作为载置构件的上支承体31。上支承体31通过升降部来升降。上支承体31在比基板9的外周更靠径向外侧包括第1抵接部34。当升降部的第2抵接部132上升时，第2抵接部132与第1抵接部34相接使上支承体31上升。当第2抵接部132下降时，上支承体31载置在下支承体21上，第2抵接部132与第1抵接部34分离，在该状态下下支承体21能够旋转。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其向基板供给处理液来处理所述基板，所述基板处理装置的特征在于，具备： 直接或者间接性地将基板支承为水平姿势的支承部； 以沿着上下方向的中心轴为中心使所述支承部旋转的旋转部； 载置构件，其能够与所述支承部分离地载置在所述支承部上，覆盖由所述支承部支承的基板的至少外缘部的上方； 升降部，其使所述载置构件相对于所述支承部升降；以及 处理液供给部，其向由所述支承部支承的基板的上表面或者下表面供给处理液， 所述载置构件在比由所述支承部支承的基板的外周更靠径向外侧包括能够在上下方向上与所述升降部相抵接的第1抵接部， 所述升降部包括： 从径向外方朝向所述载置构件的所述第1抵接部延伸的第2抵接部；以及 使所述第2抵接部升降的升降驱动部， 在通过所述升降驱动部使所述第2抵接部上升时，所述第2抵接部与所述第1抵接部相接，所述载置构件从所述支承部向上方分离， 在通过所述升降驱动部使所述第2抵接部下降时，所述载置构件载置在所述支承部上，所述第2抵接部与所述第1抵接部分离， 在所述第1抵接部与所述第2抵接部分离的状态下所述支承部能够旋转。
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