华为技术有限公司孙丰沛获国家专利权
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龙图腾网获悉华为技术有限公司申请的专利MEMS芯片及其制备方法、MEMS器件、电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114057155B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011436611.2，技术领域涉及：B81B7/00；该发明授权MEMS芯片及其制备方法、MEMS器件、电子设备是由孙丰沛;冯志宏;徐景辉;董晓诗设计研发完成，并于2020-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS芯片及其制备方法、MEMS器件、电子设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种MEMS芯片及其制备方法、用以提高MEMS芯片的结构可靠性，可广泛用于无线通信、生物医学、航空航天、消费电子、汽车电子以及仪器测量等诸多领域。MEMS芯片包括衬底、运动组件、固定组件和驱动组件，固定组件位于衬底与运动组件之间，其中：运动组件包括固定部、运动部以及第一支撑梁，第一支撑梁分别与运动部和固定部连接，且运动部朝向固定组件的第一面开设有第一避让槽；固定组件接地设置，固定组件朝向运动组件的一面具有凸台以及第一限位柱，凸台与固定部连接并用于支撑固定部，第一限位柱对应一个第一避让槽；驱动组件与运动部连接，用于驱动运动部运动。
本发明授权MEMS芯片及其制备方法、MEMS器件、电子设备在权利要求书中公布了：1.一种MEMS芯片，其特征在于，包括衬底、运动组件、固定组件和驱动组件，所述固定组件位于所述衬底与所述运动组件之间，其中： 所述运动组件包括固定部、运动部以及第一支撑梁，所述第一支撑梁分别与所述运动部和所述固定部连接，且所述运动部朝向所述固定组件的第一面开设有第一避让槽； 所述固定组件朝向所述运动组件的一面具有凸台以及第一限位柱，所述凸台与所述固定部连接并用于支撑所述固定部，所述第一限位柱对应一个所述第一避让槽； 所述驱动组件与所述运动部连接，用于驱动所述运动部运动。
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