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中用科技有限公司江大白获国家专利权

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龙图腾网获悉中用科技有限公司申请的专利基于机理模型的FOUP内部AMC流动特性模拟方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120124533B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510617599.1,技术领域涉及:G06F30/28;该发明授权基于机理模型的FOUP内部AMC流动特性模拟方法是由江大白;胡增;汪刚设计研发完成,并于2025-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。

基于机理模型的FOUP内部AMC流动特性模拟方法在说明书摘要公布了:本发明提供了基于机理模型的FOUP内部AMC流动特性模拟方法,涉及半导体技术领域,包括:建立FOUP的机理模型,采用拓扑映射分割法对FOUP的机理模型进行网格化处理;通过网格重要度分析选取初始AMC仿真点,并利用生态位理论优化初始AMC仿真点,得到仿真采样点布局;结合FOUP的实际工况设定边界条件和初始条件,并基于仿真采样点布局对FOUP内部AMC流动特性进行仿真模拟,得到仿真模拟结果。本发明不仅能够有效解决FOUP内部AMC流动特性的模拟问题,还可以为半导体制造领域的污染控制提供科学依据和技术支持,具有重要的工程价值和应用前景。

本发明授权基于机理模型的FOUP内部AMC流动特性模拟方法在权利要求书中公布了:1.基于机理模型的FOUP内部AMC流动特性模拟方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、获取FOUP的结构参数信息并建立FOUP的机理模型,采用拓扑映射分割法对FOUP的机理模型进行网格化处理; S2、基于网格化处理后的FOUP的机理模型,通过网格重要度分析选取初始AMC仿真点,并利用生态位理论优化初始AMC仿真点,得到仿真采样点布局; S3、结合FOUP的实际工况设定边界条件和初始条件,并基于仿真采样点布局对FOUP内部AMC流动特性进行仿真模拟,得到仿真模拟结果; 所述获取FOUP的结构参数信息并建立FOUP的机理模型,采用拓扑映射分割法对FOUP的机理模型进行网格化处理包括以下步骤: S11、基于FOUP设计文件收集FOUP的结构参数,并利用建模软件构建FOUP的机理模型,包括进气口、排气口、托盘位置及气流通道; S12、基于FOUP的机理模型确定FOUP的内部空间,并利用高斯混合模型对FOUP的内部空间进行区域划分,得到规则形状区域和不规则形状区域; S13、对于规则形状区域和不规则形状区域,分别利用拓扑映射分割法进行网格化处理; S14、对于网格化处理后的规则形状区域和不规则形状区域,通过网格融合法对规则形状区域和不规则形状区域的网格进行连接处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中用科技有限公司,其通讯地址为:230601 安徽省合肥市经济技术开发区宿松路3963号智能装备科技园E栋12层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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