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龙图腾网获悉深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利探针卡安装平台、晶圆检测设备和设计方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120103120B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510592456.X，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权探针卡安装平台、晶圆检测设备和设计方法是由刘世文;余多明设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本探针卡安装平台、晶圆检测设备和设计方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种探针卡安装平台、晶圆检测设备和设计方法，其包括设备平台板、连接板、绝缘板、探针卡安装板、第一圆柱销和第二圆柱销，连接板连接设备平台板，沿高度方向，绝缘板位于连接板的下方，探针卡安装板位于绝缘板的下方；连接板设有第一圆孔和第一腰形孔，探针卡安装板设有第二腰形孔和第四圆孔，连接板和绝缘板通过第一圆柱销连接，第一圆柱销的相对两端分别插设于第一腰形孔和第二圆孔；绝缘板和探针卡安装板通过第二圆柱销连接，第二圆柱销的相对两端分别插设于第二腰形孔和第三圆孔；当探针卡安装平台受热时，连接板和探针卡安装板均能够相对于绝缘板移动，且连接板和探针卡安装板的移动方向相背。

本发明授权探针卡安装平台、晶圆检测设备和设计方法在权利要求书中公布了：1.一种探针卡安装平台，其特征在于，包括： 设备平台板、连接板、绝缘板、探针卡安装板、第一圆柱销和第二圆柱销，其中，所述连接板连接所述设备平台板，沿所述探针卡安装平台的高度方向上，所述绝缘板位于所述连接板的下方，所述探针卡安装板位于所述绝缘板的下方； 所述连接板设有第一圆孔和第一腰形孔，所述绝缘板设有第二圆孔和第三圆孔，所述探针卡安装板设有第二腰形孔和第四圆孔，所述连接板和所述绝缘板通过所述第一圆柱销连接，所述第一圆柱销的相对两端分别插设于所述第一腰形孔和所述第二圆孔；所述绝缘板和所述探针卡安装板通过所述第二圆柱销连接，所述第二圆柱销的相对两端分别插设于所述第二腰形孔和所述第三圆孔； 沿所述探针卡安装平台的长度方向上，所述第一腰形孔和所述第二腰形孔相对地分布于所述绝缘板的相对两侧，于所述第一腰形孔和所述第二腰形孔的相对侧，所述第一圆柱销与所述第一腰形孔的孔壁间存在第一间隙，所述第二圆柱销与所述第二腰形孔的孔壁间存在第二间隙，当所述探针卡安装平台受热时，所述连接板沿着所述第一腰形孔的孔体方向相对于所述绝缘板沿第一方向移动，所述探针卡安装板沿着所述第二腰形孔的孔体方向相对于所述绝缘板沿第二方向移动，其中，所述第一腰形孔的孔体方向平行于所述第二腰形孔的孔体方向，且所述第一方向与所述第二方向相背设置。

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