弘塑科技股份有限公司王志成获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利液体供应系统和单晶圆处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223180567U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422418023.6，技术领域涉及：G03F7/42；该实用新型液体供应系统和单晶圆处理设备是由王志成;黄立佐;张修凯设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本液体供应系统和单晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种液体供应系统和单晶圆处理设备。液体供应系统包括单流体喷嘴和二流体喷嘴。所述单流体喷嘴配置用于向晶圆提供高温工艺液体。所述二流体喷嘴与所述单流体喷嘴相邻，配置用于向所述晶圆提供由气体和所述高温工艺液体组成的混合流体。
本实用新型液体供应系统和单晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种液体供应系统，其特征在于，包括： 单流体喷嘴，配置用于向晶圆提供高温工艺液体；以及 二流体喷嘴，与所述单流体喷嘴相邻，配置用于向所述晶圆提供由气体和所述高温工艺液体组成的混合流体。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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