浙江创芯集成电路有限公司李世龙获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利排液系统及半导体系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223178465U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422306015.2,技术领域涉及:F16L55/24;该实用新型排液系统及半导体系统是由李世龙;龙飞飞;王志瑜;苏立安设计研发完成,并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本排液系统及半导体系统在说明书摘要公布了:本实用新型实施例提供了一种排液系统及半导体系统,其中,所述排液系统包括:提供清洁介质的清洁装置;收集半导体机台排出的废液的收集罐;具有进液口和出液口的输液管路;连通所述半导体机台以及所述进液口的进液管路,所述进液管路上设置有开关所述进液管路的进液阀;连通所述清洁装置以及所述进液口的清洁管路,所述清洁管路上设置有开关所述清洁管路的清洁阀;连通所述收集罐与所述出液口的收集管路。采用上述技术方案,关闭进液阀,打开清洁阀,清洁装置提供的清洁介质经清洁管路、输液管路以及收集管路输送至收集罐内,输送过程中,清洁装置提供的清洁介质能够清理输液管路和收集管路内壁上沉积的晶体,从而能够降低排液系统堵塞的几率。
本实用新型排液系统及半导体系统在权利要求书中公布了:1.一种排液系统,其特征在于,包括: 提供清洁介质的清洁装置; 收集半导体机台排出的废液的收集罐; 具有进液口和出液口的输液管路; 连通所述半导体机台以及所述进液口的进液管路,所述进液管路上设置有开关所述进液管路的进液阀; 连通所述清洁装置以及所述进液口的清洁管路,所述清洁管路上设置有开关所述清洁管路的清洁阀; 连通所述收集罐与所述出液口的收集管路。
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