烟台万华电子材料有限公司陈刚军获国家专利权
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龙图腾网获悉烟台万华电子材料有限公司申请的专利一种用于乙硼烷样品气的低温进样系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223180154U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421522885.7，技术领域涉及：G01N30/20；该实用新型一种用于乙硼烷样品气的低温进样系统是由陈刚军;杜泽诚;韩雪设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于乙硼烷样品气的低温进样系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于乙硼烷样品气的低温进样系统，包括进样管道、载气管道、冷却单元和切换阀组件；进样管道和载气管道分别连接在切换阀组件上；其中，切换阀组件包括定量环以及与定量环连接的六通阀，定量环与进样管道连通，六通阀与载气管道连通；冷却单元包括冷却风扇以及设置在进样管道、载气管道上的管道冷却装置；进样管道上设置有乙硼烷样品气阀、吹扫阀和抽真空阀。本实用新型的低温进样系统对乙硼烷样品气进行低温预处理，有效抑制了乙硼烷自身的分解，保证了乙硼烷样品气进样的准确性。
本实用新型一种用于乙硼烷样品气的低温进样系统在权利要求书中公布了：1.一种用于乙硼烷样品气的低温进样系统，其特征在于，所述低温进样系统包括进样管道、载气管道、冷却单元和切换阀组件；所述进样管道和所述载气管道分别连接在所述切换阀组件上； 其中，所述切换阀组件包括定量环以及与所述定量环连接的六通阀，所述定量环与所述进样管道连通，所述六通阀与所述载气管道连通； 所述冷却单元包括冷却风扇以及设置在所述进样管道、所述载气管道上的管道冷却装置； 所述进样管道上设置有乙硼烷样品气阀、吹扫阀和抽真空阀。
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