新磊半导体科技(苏州)股份有限公司苏杰获国家专利权
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龙图腾网获悉新磊半导体科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种分子束外延设备液氮循环系统排气管加热装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117307861B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311265544.6,技术领域涉及:F16L53/38;该发明授权一种分子束外延设备液氮循环系统排气管加热装置是由苏杰;杜全钢;姜炜;冯巍设计研发完成,并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分子束外延设备液氮循环系统排气管加热装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种分子束外延设备液氮循环系统排气管加热装置,涉及分子束外延生长技术领域。该装置包括液氮循环系统排气管、第一加热区、第一过渡区、第二加热区、第二过渡区、第三加热区、消音罩、液体氮存放容器。第一加热区包裹着液氮循环系统排气管,与第一过渡区相连接,第一过渡区与第二加热区相连接,第二加热区与第二过渡区相连接,第二过渡区与第三加热区、液体氮存放容器相连接,第三加热区与消音罩相连接。与现有技术相比,解决了液氮循环系统工作时,因管口易结冰渣堵塞,导致液氮循环不顺畅、系统真空波动变大,影响外延材料的生长;同时,也避免喷出的低温气态氮因吸收大气中的水分子而形成氮水雾团,遮挡行人视线的安全隐患。
本发明授权一种分子束外延设备液氮循环系统排气管加热装置在权利要求书中公布了:1.一种分子束外延设备液氮循环系统排气管加热装置,其特征在于,包括分子束外延设备液氮循环系统排气管、第一加热区、第一过渡区、第二加热区、第二过渡区、第三加热区、消音罩、液体氮存放容器、控制器、排气管套筒、金属加热丝、蜂窝型加热管组、金属加热丝网组、线路集成箱、线缆、凹槽、阻隔条、圆柱型加热长管、加热贴; 所述分子束外延设备液氮循环系统排气管被所述第一加热区包裹着,所述第一加热区内设有排气管套筒、金属加热丝、凹槽、阻隔条,所述排气管套筒外壁刻有所述凹槽,所述凹槽中间设有所述阻隔条,2根所述金属加热丝放置在所述排气管套筒外壁上的所述凹槽内,被所述阻隔条分开,且2根所述金属加热丝互不缠绕,均匀地缠绕在所述排气管套筒上,所述排气管套筒紧套在所述分子束外延设备液氮循环系统排气管,所述排气管套筒的材质为陶瓷材料,所述第一加热区与所述第一过渡区相连接,所述第一过渡区与所述第二加热区相连接,所述第二加热区内设有蜂窝型加热管组、圆柱型加热长管、加热贴,所述蜂窝型加热管组由多根所述圆柱型加热长管组成且所述圆柱型加热长管的材质为陶瓷材料,所述圆柱型加热长管管口直径比所述分子束外延设备液氮循环系统排气管管口直径小15,所述蜂窝型加热管组被所述加热贴包裹着,所述第二加热区与所述第二过渡区相连接,所述第二过渡区与所述第三加热区、所述液体氮存放容器、所述线路集成箱相连接,所述第三加热区内设置有所述金属加热丝网组,所述线路集成箱内设有所述第一加热区的加热线组,所述第二加热区的加热线组,所述第三加热区的加热线组,所述线路集成箱通过所述线缆与所述控制器相连接,所述第三加热区与所述消音罩相连接。
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