江苏吉星新材料有限公司;东旭科技集团有限公司李奕铭获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏吉星新材料有限公司;东旭科技集团有限公司申请的专利一种高纯碳化硅及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116180226B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310047510.3,技术领域涉及:C30B27/00;该发明授权一种高纯碳化硅及其制备方法是由李奕铭;林宏达;翟虎;宋亚滨设计研发完成,并于2023-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高纯碳化硅及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体材料领域,公开了一种高纯碳化硅及其制备方法,该制备方法包括:1将碳化硅粉料进行除碳处理,得到第一碳化硅粉料;2将所述第一碳化硅粉料进行超声清洗处理并干燥,得到第二碳化硅粉料;3将碳粉、硅粉与所述第二碳化硅粉料进行混料处理,得到混合料I;4采用三阶段程序升温法将所述混合料I进行反应,得到高纯碳化硅。本发明提供的制备高纯碳化硅的方法,能够提高碳化硅晶体的纯度,并且能够提高大粒径碳化硅晶体的收率占比。
本发明授权一种高纯碳化硅及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种制备高纯碳化硅的方法,其特征在于,该方法包括: 1将粒径为180-230μm、纯度不小于99.9wt%的碳化硅粉料进行除碳处理,得到第一碳化硅粉料;所述除碳处理在压缩空气存在下进行,且所述除碳处理的条件至少满足:温度为800-900℃,时间为5-8h; 2将所述第一碳化硅粉料进行超声清洗处理并干燥,得到第二碳化硅粉料;所述超声清洗的条件至少满足:超声频率为40-60Hz,清洗时间为60-180min; 3将碳粉、硅粉与所述第二碳化硅粉料以1-1.2:1-1.2:1的用量重量比进行混料处理,得到混合料I; 4在保护气氛存在下,采用三阶段程序升温法将所述混合料I进行反应,得到纯度不小于99.99wt%的高纯碳化硅; 其中,在步骤4中,所述三阶段程序升温法的操作包括: S1:在第一压力下,将所述混合料I以第一升温速率升温至第一温度,并在所述第一温度下保温第一时间,得到第一中间物料;所述第一压力为1.5-2.5Torr,所述第一升温速率为4-6℃min,所述第一温度为1300-1400℃,所述第一时间为2.5-4h; S2:在第二压力下,将所述第一中间物料以第二升温速率升温至第二温度,并在所述第二温度下保温第二时间,得到第二中间物料;所述第二压力为95-100Torr,所述第二升温速率为5-6.5℃min,所述第二温度为1650-1750℃,所述第二时间为4-7h; S3:在第三压力下,将所述第二中间物料以第三升温速率升温至第三温度,并在所述第三温度下保温第三时间,得到所述纯度不小于99.99wt%的高纯碳化硅;所述第三压力为40-60Torr,所述第三升温速率为4.5-5.5℃min,所述第三温度为2250-2350℃,所述第三时间为16-24h。
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