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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020180B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210647899.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质是由胡琅;李晓峰;姚龙;吴添洪设计研发完成，并于2022-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质，用于匹配反应腔室中的阻抗，所述一种自动阻抗匹配方法包括以下步骤：获取所述等离子体的阻抗信息；获取所述等离子体的阻抗标准表，所述阻抗标准表包括多个根据所述等离子体阻抗变化情况划分的工作状态区间，所述阻抗标准表为根据所述等离子体的在前活化过程生成；根据所述阻抗标准表及所述阻抗信息获取所述等离子体的当前工作状态；根据所述当前工作状态调节阻抗匹配箱的阻抗以进行阻抗匹配，本申请通过先采集后匹配的方法，实现阻抗的自适应快速匹配，同时该自适应匹配方法可适用于多个平台。

本发明授权自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种自动阻抗匹配方法，用于匹配反应腔室（6）中的阻抗，其特征在于，所述一种自动阻抗匹配方法包括以下步骤： 获取等离子体的阻抗信息； 获取所述等离子体的阻抗标准表，所述阻抗标准表包括多个根据所述等离子体阻抗变化情况划分的工作状态区间，所述阻抗标准表为根据所述等离子体的在前活化过程生成； 根据所述阻抗标准表及所述阻抗信息获取所述等离子体的当前工作状态； 根据所述当前工作状态调节阻抗匹配箱（4）的阻抗以进行阻抗匹配； 所述根据所述阻抗标准表及所述阻抗信息获取所述等离子体的当前工作状态的步骤包括： 根据所述阻抗信息获取所述等离子体的阻抗随时间变化的瞬时阻抗斜率； 根据所述瞬时阻抗斜率及所述阻抗标准表的工作状态区间获取所述等离子体的当前工作状态； 所述阻抗标准表的生成过程包括： 利用射频电源（1）对等离子体进行在前活化； 获取等离子体在前活化过程中的基准阻抗信息； 根据所述基准阻抗信息建立所述阻抗标准表； 根据所述阻抗标准表中基准阻抗信息关于时间的斜率变化将所述阻抗标准表划分为多个所述工作状态区间； 所述根据所述基准阻抗信息建立所述阻抗标准表的步骤包括： 根据所述射频电源（1）多次运行产生的所述基准阻抗信息建立多个阻抗信息矩阵表； 对多个所述阻抗信息矩阵表进行均方根测算，获取所述阻抗标准表。

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