西安聚安光科物联网科技有限公司董波获国家专利权
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龙图腾网获悉西安聚安光科物联网科技有限公司申请的专利一种新型的声表面波滤波器结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114421922B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111584898.8，技术领域涉及：H03H9/64；该发明授权一种新型的声表面波滤波器结构及其制备方法是由董波设计研发完成，并于2021-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型的声表面波滤波器结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种声表面波滤波器结构及其制备方法，包括：声表面波滤波器的阶梯型的叉指和反射栅结构；利用双光子聚合工艺制备该结构的工艺方法：第一掩膜版和第二掩膜版均包括镂空型的多个插指电极和反射栅；将所述第一掩膜版置于压电晶体表面进行对版并镀膜得到初始的插指电极和反射栅；按照预设的阶梯电极偏差尺寸将所述第二掩膜版与第一掩模版进行对版然后进行二次镀膜，得到具有预设周期的多个阶梯型的插指电极和反射栅。节约了设计声表滤波器的工艺流程和成本。
本发明授权一种新型的声表面波滤波器结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种声表面波滤波器的制备方法，其特征在于，包括下述步骤： 利用双光子聚合工艺分别制备镂空型的第一掩膜版和第二掩膜版，其中，所述第一掩膜版和所述第二掩膜版均包括镂空型的多个插指电极和反射栅； 将所述第一掩膜版置于压电晶体表面进行对版并镀膜得到初始的插指电极和反射栅； 按照预设的阶梯电极偏差尺寸将所述第二掩膜版与第一掩模版进行对版然后进行二次镀膜，得到周期性排列的在厚度方向上具有多个阶梯层的插指电极和反射栅； 还包括：按照预设的排列周期将光刻胶粘置于载物台表面； 利用激光入射入光刻胶使得所述激光与所述光刻胶产生双光子聚合效应产生微小光斑以对所述光刻胶进行光固化得到具有镂空型的周期性的插指电极和反射栅的第一掩模版和第二掩模版； 通过丙酮对固化后的镂空基底进行剥离得到第一掩膜版和第二掩膜版。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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