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龙图腾网获悉汪子健申请的专利一种溅镀镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114351101B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111526366.9，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种溅镀镀膜设备是由汪子健;周进设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种溅镀镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明涉及镀膜技术领域，具体为一种溅镀镀膜设备，包括箱体、固定连接在箱体一侧壁的固定杆、靶材支架、靶材、基片支架和基片，靶材固定安装在靶材支架的一侧，基片支架设于远离靶材一端的箱体内，基片固定安装在基片支架的一侧，所述箱体的侧壁上开设有两个对称设置的滑槽，所述基片支架的两端均固定安装有滚轮，且滚轮在滑槽的内部滑动。本发明通过设置第一活塞、第一伸缩杆等机构，镀膜开始前基片支架处于滑槽中部的平衡位置，通过观察指针所指刻度，并且根据镀膜材料的特性向第一活塞与箱体之间的空间充入或者释放氩气用来调节第一活塞的位置，实现对基片位置的调节，达到对基片镀膜时的均匀性。

本发明授权一种溅镀镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种溅镀镀膜设备，包括箱体（1）、固定连接在箱体（1）一侧壁的固定杆（2）、靶材支架（3）、靶材（4）、基片支架（5）和基片（6），固定杆（2）的一端固定连接在靶材支架（3）的中部，靶材（4）固定安装在靶材支架（3）的一侧，基片支架（5）设于远离靶材（4）一端的箱体（1）内，基片（6）固定安装在基片支架（5）的一侧，其特征在于：所述箱体（1）的侧壁上开设有两个对称设置的滑槽（7），所述基片支架（5）的两端均固定安装有滚轮（8），且滚轮（8）在滑槽（7）的内部滑动，所述基片支架（5）的中部固定安装有第一伸缩杆（9），所述第一伸缩杆（9）的一端固定安装有第一活塞（10），所述第一伸缩杆（9）上套设有第一弹簧（11），且第一弹簧（11）的两端分别固定连接在基片支架（5）和第一活塞（10）上，所述第一活塞（10）的一侧固定安装有两个对称设置的第二弹簧（12），两个所述第二弹簧（12）的一端固定安装在箱体（1）的内部上，所述箱体（1）的一侧内开设有第一内腔（13），所述第一内腔（13）的内部固定安装有透明刻度板（14），所述第一活塞（10）上固定安装有指针（15），所述指针（15）的针尖指向透明刻度板（14）的刻度； 所述箱体（1）的一侧固定安装有收集箱（16），所述收集箱（16）的内部设有用于回收再利用箱体（1）内部的氩气的二次利用机构，所述箱体（1）的侧壁上开设有第一凹槽（23），所述箱体（1）的顶壁上开设有第二凹槽（37），所述第一凹槽（23）和第二凹槽（37）的内部均设有用于防止箱体（1）内氩气回流的控制机构，所述箱体（1）的外侧设有水泵（28），所述箱体（1）和靶材（4）内设有用于降低靶材（4）温度的冷却机构，所述固定杆（2）上设有用于控制水泵（28）启停的控制开关，所述箱体（1）和收集箱（16）的内部设有用于移动基片（6）的驱动机构，所述箱体（1）的侧壁内固定安装有通气管（40），所述箱体（1）的侧壁内设有用于连通通气管（40）并控制出气的排气机构； 所述二次利用机构包括固定安装在箱体（1）底端的真空泵（17），所述收集箱（16）的底端固定安装有导气管（18），所述真空泵（17）的排气管与导气管（18）通过软管连接，所述收集箱（16）的内部固定安装有隔板（19），所述隔板（19）上开设有第一通气口（20），且隔板（19）和第一通气口（20）之间设有4A分子筛（21），所述收集箱（16）的侧壁上开设有第二通气口（22），且第二通气口（22）和第一凹槽（23）连通； 所述控制机构包括固定安装在第一凹槽（23）内部的固定板（24），所述固定板（24）的一侧固定安装有第二伸缩杆（25），且的第二伸缩杆（25）与固定板（24）与之连接处的宽度相同，所述第二伸缩杆（25）的一端固定安装有第一梯形活塞（26），所述第二伸缩杆（25）上套接有第三弹簧（27），且第三弹簧（27）的两端分别固定连接在固定板（24）和第一梯形活塞（26）上； 所述冷却机构包括开设在靶材（4）内部的蛇形槽（29），所述箱体（1）的内部设有三通接头（30），且蛇形槽（29）的两端分别通过水管与水泵（28）和三通接头（30）连通； 所述驱动机构包括固定安装在三通接头（30）内部的汽水分离膜（34），所述箱体（1）的侧壁上固定安装有保温管（35），且保温管（35）的两端分别通过导管与三通接头（30）和收集箱（16）连通，所述收集箱（16）的内部滑动安装有第二活塞（36），所述收集箱（16）的一侧固定安装有出气管（38），且第二凹槽（37）与出气管（38）连通，所述箱体（1）的侧壁上固定安装有进气管（39），所述出气管（38）与进气管（39）通过软管连接； 所述排气机构包括开设在通气管（40）上端的第一排气口（41），所述箱体（1）的顶壁上开设有第三凹槽（42），所述第三凹槽（42）的内部滑动安装有第二梯形活塞（43），所述第二梯形活塞（43）的一端固定安装有按压块（44），所述第二梯形活塞（43）上开设有第二排气口（45），所述第二梯形活塞（43）的内部开设有第二内腔（46），所述通气管（40）的一端贯穿第二梯形活塞（43）的内部并延伸至第二排气口（45）内，所述通气管（40）上固定安装有固定块（47），且固定块（47）设于第二内腔（46）内，所述通气管（40）上套设有第四弹簧（48），且第四弹簧（48）的两端分别固定连接在第二内腔（46）的内壁和固定块（47）上。

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