天虹科技股份有限公司林俊成获国家专利权
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龙图腾网获悉天虹科技股份有限公司申请的专利喷洒装置及薄膜沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116024551B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111256284.7，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权喷洒装置及薄膜沉积设备是由林俊成;郭大豪;易锦良设计研发完成，并于2021-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷洒装置及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本发明为一种喷洒装置及薄膜沉积设备，主要包括一第一输送管线、一第二输送管线、一扩散单元、一环形扩散单元。第一及第二输送管线连接扩散单元，分别将第一及第二前驱物输送至扩散单元的第一及第二进气管输送，使得第一及第二前驱物输送至扩散单元的下方。环形扩散单元设置在扩散单元的周围，并包括一第一环形输送管线及复数个第三进气管，其中第三进气管朝向扩散单元的下方，并用以将第二前驱物输送至扩散单元的下方。
本发明授权喷洒装置及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种喷洒装置，其特征在于，包括： 至少一第一输送管线，用以输送一第一前驱物； 至少一第二输送管线，用以输送一第二前驱物，该第二输送管线的截面积小于该第一输送管线，且该第一前驱物的黏滞性低于该第二前驱物； 一扩散单元，包括复数个第一进气管及复数个第二进气管，其中该复数个第一进气管流体连接该第一输送管线，并用以将该第一前驱物输送至该扩散单元的下方，而该复数个第二进气管流体连接该第二输送管线，并用以将该第二前驱物输送至该扩散单元的下方；及 一环形扩散单元，设置在该扩散单元的周围，并位于该扩散单元的下方，该环形扩散单元包括至少一第一环形输送管线及复数个第三进气管，其中该第一环形输送管线流体连接该复数个第三进气管，该第一环形输送管线经由该第三进气管将该第二前驱物输送至该扩散单元的下方，其中该第三进气管朝向该第一进气管或该第二进气管的延伸方向，并相对于该第一进气管或该第二进气管倾斜。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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