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龙图腾网获悉天虹科技股份有限公司申请的专利扩散机构及薄膜沉积机台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116005132B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111229113.5，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权扩散机构及薄膜沉积机台是由林俊成;郭大豪设计研发完成，并于2021-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本扩散机构及薄膜沉积机台在说明书摘要公布了：本发明为一种扩散机构及薄膜沉积机台，主要包括一传输管线、一导流单元、一输入管线及一扩散板，其中输入管线经由传输管线连接扩散板。传输管线具有一传输空间，而导流单元则设置在传输空间内，并将传输空间区分为一第一及一第二传输空间。导流单元的上表面具有一凸起部，凸起部的周围环绕设置复数个导流管线，其中导流管线相对于导流单元的上及下表面倾斜。第一传输空间内的气体或电浆经由导流管线输送至第二传输空间，并在第二传输空间内形成漩涡，以在扩散机构的下方形成分布均匀的气体或电浆。

本发明授权扩散机构及薄膜沉积机台在权利要求书中公布了：1.一种扩散机构，其特征在于，包括： 一传输管线，包括一传输空间； 一导流单元，设置在该传输管线的该传输空间内，并将该传输空间区分为一第一传输空间及一第二传输空间，该导流单元包括： 一主体部，包括一第一表面及一第二表面，其中该第一表面朝向该第一传输空间，而该第二表面则朝向该第二传输空间； 一凸起部，设置在该主体部的该第一表面； 复数个导流管线，位于该主体部的该凸起部的周围，并连通该主体部的该第一表面及该第二表面，其中该导流管线相对于该主体部的该第一表面及该第二表面倾斜； 至少一输入管线，流体连接该传输管线的该第一传输空间，并用以将至少一气体或至少一电浆输送至该第一传输空间，其中进入该第一传输空间的该气体或该电浆经由该导流单元的该复数个导流管线输送至该第二传输空间；及 一扩散板，连接该传输管线，该扩散板包括一第三表面、一第四表面及复数个穿孔，该穿孔连通该扩散板的该第三表面及该第四表面，其中该扩散板的该第三表面流体连接该第二传输空间，而该第二传输空间内的该气体或该电浆经由该扩散板的该复数个穿孔传输至该扩散板的该第四表面的一侧； 其中该输入管线相对于该主体部的第一表面倾斜，使得由该输入管线输入该第一传输空间的气体或电浆以该凸起部的中心向下旋转，将气体或电浆以漩涡的方式传送至该扩散板，并经由该扩散板的穿孔输送至承载盘及或晶圆的上方，并在晶圆的上方会形成一均匀分布的气体或电浆，以在晶圆的表面形成厚度均匀的薄膜。

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