ASM IP私人控股有限公司C.德泽拉获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利用于递送钒化合物的方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113637956B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110509409.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权用于递送钒化合物的方法和系统是由C.德泽拉;谢琦;P.雷萨宁;D.皮埃罗;B.琼布罗德;W.科内鹏;E.J.希罗设计研发完成，并于2021-05-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于递送钒化合物的方法和系统在说明书摘要公布了：一种方法，可以包括：将四氯化钒设置在递送容器中；将四氯化钒递送到与递送容器流体连通的反应室；减缓四氯化钒的分解产物向反应室的递送；和或将四氯化钒施加到设置在反应室中的衬底以在衬底上形成包括钒的层。
本发明授权用于递送钒化合物的方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种方法，包括： 将四氯化钒从大容量供给罐作为气体递送到递送容器中； 在将四氯化钒递送到递送容器之后，向递送容器添加过量氯气，由此减缓四氯化钒分解成四氯化钒的分解产物； 将所述四氯化钒从递送容器递送到与所述递送容器流体连通的反应室；以及 将所述四氯化钒施加到设置在所述反应室中的衬底以在所述衬底上形成包括钒的层。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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