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兴国鸿铭电子科技有限公司钟爱红获国家专利权

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龙图腾网获悉兴国鸿铭电子科技有限公司申请的专利一种振膜磁控溅射镀膜机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223189249U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521304926.X,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种振膜磁控溅射镀膜机是由钟爱红;钟观荣;谢玉华设计研发完成,并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种振膜磁控溅射镀膜机在说明书摘要公布了:本实用新型涉及镀膜机技术领域,具体为一种振膜磁控溅射镀膜机,包括机体,所述机体的内侧安装有基板与加热板,且所述机体的外表面一侧开设有气窗与排气口,所述排气口的外表面一侧安装有真空泵,所述机体的内侧两端分别安装有电机与固定板,所述电机的输出端安装有支撑杆,所述固定板的底端转动连接有活动架,所述支撑杆的外表面固定安装有顶板与托盘,所述托盘的外侧转动连接有滑环器,所述滑环器的顶端与活动架的底端均固定安装有支撑块,本实用新型中,通过在镀膜机上设置了弧形块,给靶材的快速限位提供了便捷,同时通过从动齿轮使得靶材与基材的转动速度不一样,实现了靶材的多角度溅射,提高了靶材的利用率。

本实用新型一种振膜磁控溅射镀膜机在权利要求书中公布了:1.一种振膜磁控溅射镀膜机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)的内侧安装有基板(2)与加热板(3),且所述机体(1)的外表面一侧开设有气窗(4)与排气口(6),所述排气口(6)的外表面一侧安装有真空泵(5),所述机体(1)的内侧两端分别安装有电机(7)与固定板(9),所述电机(7)的输出端安装有支撑杆(8),所述固定板(9)的底端转动连接有活动架(10),所述支撑杆(8)的外表面固定安装有顶板(11)与托盘(12),所述托盘(12)的外侧转动连接有滑环器(13),所述滑环器(13)的顶端与活动架(10)的底端均固定安装有支撑块(18),所述支撑块(18)的内侧设置有靶材(14),所述托盘(12)的顶端与顶板(11)的底端均固定安装有放置架(19),所述机体(1)的内侧固定安装有固定杆(15),所述固定杆(15)的外表面转动连接有从动齿轮(16),所述从动齿轮(16)的外表面转动连接有主动齿轮(17),所述支撑块(18)的外表面一侧开设有滑槽(20),所述滑槽(20)的内侧滑动连接有弧形块(21),所述弧形块(21)的外表面一端固定安装有拉绳(22)。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人兴国鸿铭电子科技有限公司,其通讯地址为:342400 江西省赣州市兴国县潋江镇澄塘村背组33号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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