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龙图腾网获悉江苏神州半导体科技有限公司申请的专利一种远程等离子体源的出气口水管故障诊断方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120176775B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510644811.3，技术领域涉及：G01D21/02；该发明授权一种远程等离子体源的出气口水管故障诊断方法是由潘小刚;窦振华;林郁;朱国俊设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种远程等离子体源的出气口水管故障诊断方法在说明书摘要公布了：本发明公开了远程等离子体源领域内的一种远程等离子体源的出气口水管故障诊断方法，其特征在于，包括以下步骤：一：通过压差传感器实时监测流动阻力压降ΔP，并通过红外热像仪采集局部温度分布数据ΔT，同时通过电容式湿度传感器监测环境湿度变化ΔR；二：基于卡尔曼滤波算法将ΔP、ΔT、ΔR数据融合，得到压降、温度及湿度的状态估计值；三：构建结垢堵塞目标函数M和泄漏目标函数N；四：当M超过第一阈值M1时判定为结垢，超过第二阈值M2时判定为堵塞；当N超过泄漏阈值N1时判定为微泄漏。该出气管道故障诊断方法通过多传感器协同监测（压差、温度、湿度）与卡尔曼滤波数据融合，实现结垢、堵塞及泄漏的精准识别。

本发明授权一种远程等离子体源的出气口水管故障诊断方法在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子体源的出气口水管故障诊断方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一：通过安装在出气口水管入口和出口的压差传感器实时监测流动阻力压降ΔP，并通过所述出气口水管管壁外部的红外热像仪采集局部温度分布数据ΔT，同时通过在所述出气口水管附近布置的电容式湿度传感器监测环境湿度变化ΔR； 步骤二：基于卡尔曼滤波算法将ΔP、ΔT、ΔR数据融合，得到压降、温度及湿度的状态估计值ΔPk、Tk、Rk； 步骤三：构建结垢堵塞目标函数M和泄漏目标函数N， ； ； 其中tk为当前时刻，tk-1为上一时刻，ΔPk、vk、Tk、Rk为当前时刻压差、流量、温度、湿度的状态估计值，ΔPk-1、vk-1、Tk-1、Rk-1为上一时刻压差、流量、温度、湿度状态估计值，λ 1、λ 2、λ 3分别为压差、流量、温度权值比重，λ4是湿度的权值比重，λ4λ1、λ2； 步骤四：当M超过第一阈值M1时判定为结垢，超过第二阈值M2时判定为堵塞；当N超过泄漏阈值N1时判定为微泄漏，并触发分级报警及维护指令。

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