杭州东途自动化技术有限公司胡俊获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州东途自动化技术有限公司申请的专利一种用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120199709B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510648263.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法是由胡俊;管志远;孙健春设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法。该振动抑制装置安装在混合键合设备的放置机构前端和放置机构末端之间；振动抑制装置包括第一振动组件、第二振动组件和压电振动驱动装置；第一振动组件与第二振动组件层叠布置；压电振动驱动装置包括第一压电电机和第二压电电机；第一振动组件与第二振动组件可带动放置机构末端分别沿第一方向和第二方向振动。该方法能够主动抵消放置机构运动中产生的振动，无需等待振动自行衰减到目标精度要求内，进而缩短了混合键合设备放置芯片到目标位置的时间，提高了混合键合设备的生产效率。
本发明授权一种用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法在权利要求书中公布了：1.一种用于混合键合设备的振动抑制装置，其特征在于，所述振动抑制装置安装在所述混合键合设备的放置机构前端（1）和放置机构末端（4）之间；所述振动抑制装置包括第一振动组件（2）、第二振动组件（3）和压电振动驱动装置； 所述第一振动组件（2）与所述第二振动组件（3）层叠布置；所述压电振动驱动装置包括第一压电电机（5）和第二压电电机（6）； 所述第一振动组件（2）与所述第二振动组件（3）带动所述放置机构末端（4）分别沿第一方向和第二方向振动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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