长春智冉光电科技有限公司韩夕冉获国家专利权
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龙图腾网获悉长春智冉光电科技有限公司申请的专利一种深紫外干湿两用投影物镜及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120065480B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510558822.X，技术领域涉及：G02B13/00；该发明授权一种深紫外干湿两用投影物镜及方法是由韩夕冉设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种深紫外干湿两用投影物镜及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种深紫外干湿两用投影物镜及方法，涉及光学技术领域，投影物镜包括平面镜、第二透镜组、光阑、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组，通过改变平面镜的厚度进而实现投影物镜进行干式成像以及湿式成像的切换，使投影物镜适用于不同的环境和不同的样品，增加了投影物镜的NA数值，提高了物镜的分辨率，使其适用范围更加广泛，投影物镜还可以通过改变干式成像以及湿式成像工作方式进而改变数值孔径，在湿式工作方式时，可以通过改变不同的浸液来改变数值孔径，解决了现有投影物镜数值孔径以及应用方式固定难以改变的问题。
本发明授权一种深紫外干湿两用投影物镜及方法在权利要求书中公布了：1.一种深紫外干湿两用投影物镜，其特征在于，所述投影物镜包括：沿光轴方向从像面（1）到物面（25）依次设置的第一保护镜、第二透镜组、光阑（10）、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组，第一保护镜为平面镜（2），用于保护物镜光学系统且可更换的平面镜（2）无光焦度，投影物镜处于干式投影状态时平面镜（2）的厚度大于投影物镜处于湿式投影状态时平面镜（2）的厚度，用于汇聚光束的第二透镜组具有正光焦度，用于汇聚光束的第三透镜组具有正光焦度，用于光束发散以及校正物镜光学系统离焦的第四透镜组具有负光焦度，用于光束发散以及校正物镜光学系统畸变的第五透镜组具有负光焦度，用于汇聚光束的第六透镜组具有正光焦度； 所述第三透镜组包括沿光轴方向从像面（1）到物面（25）依次设置的第八透镜（11）、第九透镜（12）和第十透镜（13），第八透镜（11）、第九透镜（12）和第十透镜（13）均为弯月透镜，第八透镜（11）、第九透镜（12）和第十透镜（13）的弯月方向均朝向物面（25）。
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