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龙图腾网获悉中国电子工程设计院股份有限公司申请的专利一种自适应的半导体设备用能数字孪生仿真装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120124312B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510561073.6，技术领域涉及：G06F30/20；该发明授权一种自适应的半导体设备用能数字孪生仿真装置及方法是由夏连鲲;赵晓妍;何丽华;孙雨萱;赵馨飞;王慧妹;程星华;徐策;白帆设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自适应的半导体设备用能数字孪生仿真装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种自适应的半导体设备用能数字孪生仿真装置及方法，装置包括通过信号连接的数据获取模块、仿真模型构建及运行模块和参数更新模块；数据获取模块获取半导体产品的投产信息和工艺参数信息以及实时获取实际加工数据；仿真模型构建及运行模块根据预设的工艺设备配置单元，构建工艺设备用能仿真模型，融合半导体产品的投产信息和工艺参数信息，运行工艺设备用能仿真模型，实时给出用能仿真数据；参数更新模块用于对工艺设备用能仿真模型中的工艺参数信息进行更新。通过设置参数更新模块引入实时数据反馈机制，对工艺参数信息进行动态更新，提高工艺设备用能仿真模型的准确性和实时性。

本发明授权一种自适应的半导体设备用能数字孪生仿真装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种自适应的半导体设备用能数字孪生仿真装置，其特征在于，包括：通过信号连接的数据获取模块、仿真模型构建及运行模块、第一更新子模块、第二更新子模块和第三更新子模块； 数据获取模块，用于获取半导体产品的投产信息和工艺参数信息，以及，实时获取工艺设备的实际加工数据，其中，投产信息包括半导体产品的投产时间、加工批次及工艺制程信息，工艺参数信息包括工艺设备中各工位在加工半导体产品过程中的设定运行时间及设定用能量，实际加工数据包括实际加工时间及实际用能数据； 仿真模型构建及运行模块，用于根据预设的工艺设备配置单元，构建工艺设备用能仿真模型，融合半导体产品的投产信息和工艺参数信息，运行工艺设备用能仿真模型，实时给出用能仿真数据； 第一更新子模块，用于对预设时间段内工艺设备的实际加工数据进行分析，对当前工艺参数信息中各工位在加工半导体产品过程中的设定运行时间及设定用能量进行更新，给出第一工艺参数信息； 第二更新子模块，用于确定工艺设备的当前加工批次，并根据当前加工批次对应关联加工批次的工艺设备的实际加工数据，对当前工艺参数信息中各工位在半导体产品加工过程中的设定用能量和设定运行时间进行更新，给出第二工艺参数信息； 第三更新子模块，用于确定当前加工时间，并结合固定更新策略，对当前工艺参数信息进行更新，给出第三工艺参数信息。

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